电子显微镜真空系统常见故障及对策Ξ.PDFVIP

( ) 2001 年 3 月 内蒙古大学学报 自然科学版 M ar. 2001 第32 卷第2 期 . 32 . 2 A cta Scientiarum N aturalium U niversitatis N eiM ongo l V o l N o ( ) 　　文章编号: 1000- 1638 2001 电子显微镜真空系统常见故障及对策 朱　宇 ( 内蒙古大学实验测试中心, 内蒙古 呼和浩特 010021) 摘要: 真空度的高低, 直接影响成像质量, 介绍了常见故障及排除方法. 关键词: 电镜; 真空系统; 故障 中图分类号: TH 742　　文献标识码: A 　　电子显微镜的真空系统是由机械泵、扩散泵、真空管道、阀门及检测系统组成. 它用以排除镜筒中 ( - 4 - 5 - 8 ) 的空气使镜筒达到高真空状态 一般电镜要求 10 ～ 10 to rr, 超高压电镜要求 10 to rr . 电子显微镜的镜筒必须在高真空状态方可工作, 如果镜筒中存有很多的空气, 这些气体分子将对 镜筒的工作状态产生以下一些不良影响. ①气体分子和高速运动的电了碰撞, 缩短电子的自由程, 使 电子发生散射, 引起“炫光”或减低像的反差; ②碰撞使气体电离放电引起电子束的不稳定或“闪烁”; ③气体与炽热的灯丝相作用, 不断腐蚀灯丝, 缩短灯丝的寿命; ④残余的气体聚在样品上可使样品污 染; ⑤影响高压的稳定性. 真空检漏的手段很多, 这里我们按照真空系统的组成顺序来分别论述: - 2 - 3 1　机械泵: 机械泵主要是对镜筒低真空的抽气, 其极限真空度为 10 ～ 10 to rr, 主要故障如 下: a. 机械泵不工作: 首先检查其供电电源及供电电路, 看是否有断路及继电器的触点接触不良, 进 一步可拆开马达, 检查线包及轴承磨损情况, 可根据具体情况更新或修理. b. 机械泵抽气效率低: 检查油位是否偏低, 油中的水份、粘度、杂质. 如是, 可补充到位及更新, 换 油前要用有机溶剂如乙醚等对机械泵进行清洗, 然后烘干泵体, 注入新油. 进一步可查各密封件有无 泄漏, 气孔是否错位等, 相应的进行更新及调整. - 5 - 6 2　扩散泵: 扩散泵主要是对镜筒高真空的抽气, 极限真空度可达 10 ～ 10 to rr, 主要故障如 下: a. 扩散泵不工作: 首先检查炉丝供电电源, 然后查炉丝是否烧断. 进一步可查冷却水及停水报警 系统, 如正常, 可继续检查扩散泵微动开关及控制微动开关的前置电磁阀、继电器, 找出哪一部件不工 作, 采取相应的措施解决. b. 扩散泵工作效率低: 检查硅油的质量和数量, 是否符合规定的要求, 可进行更换及补充. 然后 可查靠近扩散泵的阀门及密封圈, 以及冷却水的温差, 这些都可引起硅油蒸发流失, 从而导致工作效 率降低. 3　真空管道: 真空管道包括镜筒、镜筒上各对外