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等离子辅助镀膜技术-发光学报
23 6 V l1 23 N . 6
2002 12 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Dec. , 200 2
: 1000-7032( 2002) 06-0623-04
等离子辅助镀膜技术
贾克辉, 徐 颖, 高劲松, 曹健林
( , 130022)
: , ,
, ,
,
( GIS) T iO
2
,
: ;
: T N205 : A
1 引 言
1 500 e ,
[ 1~ 9] , , ,
,
, ( CVD)
( PVD)
,
,
, ,
[ 1, 2]
( GIS) T iO2
Lambda-900
, ,
1 GIS
11 ; 21 ; 31 ; 41 ; 51
2 无栅等离子体源( GIS) ; 61 ; 71 ; 81 ; 91
; 101 ; 111 ; 121 ; 131 ; 141
GIS ; 151 ; 161 ; 171
GIS Fig. 1 C nfigurati n f the GIS plasma s urce.
11shielding tube; 21 c il; 31cylindrical an de; 41 LaB cath-
de; 51 graphite filament heater; 61 insulating capping plate;
1m ,
2 71pallet; 81 insulating bedding plate; 91electric p le;
015mA/ cm ,
101 insulating dish; 111 insulating cell; 121air duct; 131p le;
141flange; 151magnetic field supply; 161cath de supply;
1 GIS 171an de supply.
: 2002-07- 19; : 2002-09-
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