先进DBFIBFETEM之检测技术应用在.PDF

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2017-06-22 发布于江苏
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先进DBFIBFETEM之检测技术应用在

DBFIB/FETEM () Advanced DBFIB/FETEM Techniques Application in Nano-materials Phase Change Memory and Display Device (II) S. C. Lo1 M. W. Lin2 C. C. Chiang3 C. J. Lin2 S. J. Chen2 L. J. Lin4 1 2 3 4 (MCL/ITRI) 1. 10~50nm (Hybrid 3~8nm Core-Shell Nanoparticles) (Core-shell Nano Particles) Ni@polystyrene JEOL JEM-2100F (EELS Mapping) 1.2 eV Ni@polystyrene GIF 172231 95 3 .tw 800eV 835eV Image) O 870eV 532eV (Elemental Maps) (Energy-sli