激光打标机光路元件的分析及设计.pdf

摘 要 激光扫描是激光技术的一个非常重要的应用领域。高惯性激光扫描系统具有良好的 线性，准确度高，频率可延伸到10～100Hz，现已广泛采用在各种光机电系统中。采用 多面棱镜扫描时，相对于双面镜在系统中引入的误差小。激光扫描要求扫描像高与光 束入射角成线性关系，即y=f·θ，所以大多数激光标刻机采用F-Theta镜的扫描系统，其 中F-Theta镜的光学性能很大程度上决定了扫描面积的大小。大工作面积的F-Theta镜通 过引入相对较大的负畸变来保持像高与入射角的线性关系，同时容易造成光能量利用 率低的问题。 激光标刻系统是综合了激光技术和计算机技术的光、机电一体化系统，具有巨大的 发展潜力和广阔的市场前景。目前国内用于激光标刻机扫描镜头的工作面积一般不超 过300mm×300mm。在对激光标刻技术要求日益提高的今天，镜头扫描面积如果过小， 将会成为一项技术瓶颈。 本文对大工作面F-Theta镜头的光学设计理论和思想作了具体阐述，通过对激光扫 描系统的分析，得出合理的参数要求，确定初始结构。站在像差校正和像质评价角度， 利用CODE V软件优化设计，校正畸变、像散等像差，得到了标刻直径为Φ750mm的F-Theta 镜头。同时最小线宽小于150μm ，扫描视场角达到 ±30º。它结构紧凑、聚焦性能接近 衍射极限、能量利用率高，满足了目前大工作面打标的使用要求。 关键词：激光标刻 F-Thet镜头 像差 光学设计 CODEV软件 I Abstract Laser scanning is an important part in laser technology. High inertia laser scanning system has good linearity, high accuracy, and its frequency range can be 10~100H .Now it is Z widely used in variety of optics, machinery and power-generating equipments. Scanning with polyhedron prism can get smaller error in system in contrast of double-faced mirror Laser scanning requires the image height be linear with the entrance angle of light, which is y=f·θ, so scanning system based on F-Theta lens must be used in most Laser marking system. In the system, the scanning area mostly lies on optical performance. F-Theta lens with large working area have more minus distortion, so it can performance the liner relative of image height and entrance angle. At the same time, there can be the problem of low utilize rate of laser energy. Laser marking system is a system of optics, machinery and power-generating equipment that synthesized the technology of laser and computer. It