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BioMEMS_生物医学诊断和治疗的桥梁

BioMEMS ) ) ) 生物医学诊断和治疗的桥梁 于晓梅, 张大成 ( 北京大学微电子学研究院, 北京 100871 E-mail: xmyu@ime. pku.edu.cn) : 生物微机电系统(BioMEMS) 集微传感器微驱动器微流体系统微光学系统及微机械 件 于一体, 广泛应用于生物学医学和生物医学工程等领域, 是一 个新的交叉研究学科本文概述了 BioMEMS 的研究内容和发展方向, 给出了部分BioMEMS 研究结果 : 生物微机电系统; 生物体内; 生物体外; 生物芯片; 生物传感器 : T 4; Q78 : A : 1671-4776( 2003) 07/ 08-0351-05 BioMEMS) ) ) bridging of biomedical diagnostics and treatments YU Xiao-mei, ZHA G Da-cheng ( I nsti t ute of M i croelect roni cs, Peki ng Univers i ty , Beij i ng, 100871, Chi na ) Abstract: Biomedical microsystems ( BioMEMS ) integrate microscale sensors, actuators, mincrofluidics, micro-optics, and structural element, which have been applied in many areas of biolo- gy, medicine, and biomedicalengineering. }BioMEMS is anew research field. T his paper presents an introductory overview of the technology and the development of BioMEMS. Some representative ex- amples of BioMEMS are presented. Key words: BioMEMS; in vivo; in vitro; biochip; biosensor 1 引 言 BioMEMS , (MEMS) , BioMEMS 21[1~ 3] , 2 生物体外微系统 MEMS (BioMEMS) MEMS , BioMEMS , , D A , , , ,, D A BioMEMS ( In vitro) ( In 2. 1 vivo) BioMEMS , , , : 2003-05-15 Micron anoelectr on ic Fechn ology /July~ August 2003 3 51 2003 7/ 8 , : ( Chip array) , (Lab-on-a-chip) , D A 5 , , 10

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