反应等离子体制备碳锥及其表征.PDFVIP

第 卷第 期 重 庆 大 学 学 报 年 月 文章编号 反应等离子体制备碳锥及其表征 陈玉安 陈 轩 徐幸梓 王必本 重庆大学 材料科学与工程学院重庆 重庆理工大学 化学与化工学院重庆 摘 要利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统用 和 为反应气体分别在沉 积有钛膜和碳膜的 片衬底上制备了锥形碳结构采用场发射扫描电子显微镜 射线 能谱仪 和显微 光谱仪对其形貌和结构进行了表征 结果表明在沉积有碳膜的 片衬底上易形成碳锥 谱和 谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构由 和 键形成根据溅射机制和扩散机制分析了碳锥的形成 同时还对碳锥 谱的 荧光背景进行了分析结果表明由于氮的掺杂使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料 关键词反应等离子体碳锥拉曼光谱溅射扩散 中图分类号 文献标志码