太阳能多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层的免烧工艺-江西科技学院学报.PDFVIP

太阳能多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层的免烧工艺 周艳华 (江西科技学院土木工程学院 江西 南昌 330098) 摘 要 摘 要 摘摘 要要：本文介绍一种太阳能多晶硅片生产过程中，喷涂坩埚免焙烧的工艺，即在氮化硅浆料中 加入少许水溶性有机物（粘结剂、防潮剂、分散剂），通过有机高分子的化学吸附和氮化硅粉的物理 吸附作用使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁，免去了传统工艺中喷涂坩埚在坩埚烧结炉中焙烧21h， 焙烧温度为1050℃的工艺。与传统工艺相比，此工艺缩短硅片生产周期，提高生产效率，降低生产 成本。 关键词 关键词 关关键键词词： 免焙烧 氮化硅浆料 水溶性有机物 中文分类号： 文献标识码： 文章编码： 中文分类号： 文献标识码： 文章编码： 中中文文分分类类号号：：TF12 文文献献标标识识码码：： A 文文章章编编码码：：123（2012）01-051-04 0 0 00引言 多晶硅铸锭制备过程中，高纯石英坩埚是