奈米孔洞制作及三维结构分析并应用於生物感测-国立彰化师范大学理.PDFVIP

自然科學與教育 Natural Science and Education 2015,第一期第一卷,157-170 2015,1(1),157-170 奈米孔洞製作及三維結構分析並應用於生物感測 1 2 2* 陳建翰 , 張旭言 , 吳憲昌 1 國立彰化師範大學 光電科技研究所 2 國立彰化師範大學 物理系 E-mail: wucs@cc.ncue.edu.tw 本文將介紹生物感測晶片的發展，從生物性薄膜的量測到固態奈米孔洞 （Solid-state nanopore ）的生物感測晶片，並分析其中的優劣。接著再提到如何利用穿透式電子顯微鏡製 作奈米孔洞 。利用高能量電子束直接於氮化矽薄膜上進行奈米孔洞的製作，不只能精準控制 孔洞直徑至奈米尺度還能透過調