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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究
10 1998
清华大学精密仪器系 北京市 100084
本文提出了一种新结构的硅微热致动泵, 着 对其关键加工工艺进
行了综述分析和实验研究, 可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
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Design of Thermo Driven Silicon Micropump and
Research on Its Fabrication Processes
Cui Tianhong, ZhouZhaoying, Wang iaohao, Ye iongying, Yang Yue
Department of Precision Instruments and M echanology, T singhua Uni er sity Beijing . 100084
Abstract: This paper presents a no el structure of thermo- dri en silicon
micropump. T he fabrication pr ocesses of this micropump are analyzed in sum -
.
may and measur ed in indi idual experiments T he experiment results ar e credi-
ble and useful .
Key Words: M icromachine, Micropump, Bulk Silicon Process.
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21
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1
LIGA :
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2mm2mm3mm 3mm 4mm 4mm
1992
35Lm 7Lm
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