等离子增强型化学气相淀积氮化硅的淀积.PDF

第 卷 第 期 湖 南 大 学 学 报 , 年 月 等离子增 强型化学气相淀积氮化硅 的淀积 唐 元 洪 湖南大学应 用物理 系 , 中国长沙 , 摘 要 等 离子 增 强 型化 学 气相 淀 积 氮化 硅 是 目前器 件 唯 一 能在合金化之 后 低 温 生 长 的氮化硅 本 文 研 究 了各 种 淀积 参数对 薄膜性 的影 , 出 了淀 的 , 对 生 速 而 能 响 提 积 优 质氮化硅钝 化膜 条件 折 射率 随 长 率 变 化 给 出 了新 的解释 子 , , 关键词 等 离 氮化硅 淀积 分类号 , , , , , , 离子增 强 型化学 相 淀积 化硅是 目 器件 唯一 能在 金化 之后低 温 等 气 氮 前 合 条 件 下生长 的氮化硅 , 作为钝化器件 的钝化膜是很合适 的 ,