脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜结构和-材料与测试网.PDFVIP

年 月 第 卷 第 期 ２０１７ １ ４１ １ 　Vol．４１No．１Jan．２０１７ : / DOI １０．１１９７３ xccl２０１７０１０１２ jg 脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜 结构和性能的影响 １ １ ３ １ ２ , , , , 任 鑫 赵瑞山 黄美东 张翀翊 王乾宝 ( , , ; 辽宁工程技术大学 材料科学与工程学院 机械工程学院 阜新 １． ２． １２３０００ , ) 天津师范大学物理与材料科学学院 天津 ３． ３００３８７ : , , 摘 要 采用复合离子镀技术 在不同脉冲负偏压幅值下于３０４不锈钢表面制备 TiCN薄膜 研 　 、 、 、 . : 究了负偏压幅值对薄膜成分 结构 表面粗糙度 显微硬度及摩擦磨损性能的影响 结果表明 随着 , 、 , 负偏压幅值升高 钛 碳与氮元素的原子比以及碳与钛元素的原子比先增大后减小 薄膜表面的颗 、 , , ; , 粒及针孔 凹坑等缺陷尺寸减小 数量减少 表面形貌得到改善 薄膜主要由TiCN相组成 随着负 ( ) , , 偏压幅值增大出现 １１１晶面择优取向 且薄膜的显微硬度先增大后减小 并在负偏压幅值为３００V , ; , , 时达到最大 为２６９０HV 薄膜的摩擦磨损性能优于基体的 随着负偏压幅值增加 薄膜的摩擦因数 , , . 不断降低 在负偏压幅值为３００V时约为０．３５５此时薄膜的摩擦磨损性能最优 : ; ; 关键词 脉冲负偏压幅值 TiCN薄膜 摩擦磨损性能 中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TG１７８　　　 A　　　 １０００Ｇ３７３８２０１７０１Ｇ００５６Ｇ０５ EffectsofPulsedNeativeBiasAm litudesonStructureandProertiesof g p p TiCNFilmPrearedb Com oundIonPlatin Technolo p