轴套内表面微结构掩膜电解加工模拟及试验研究.PDFVIP

圆园员远年 圆月 机械科学与技术 云藻遭则怎葬则赠 圆园员远 第猿缘卷 第圆期 酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠枣燥则粤藻则燥泽责葬糟藻耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早 灾燥造援猿缘 晕燥援圆 阅韵陨院员园援员猿源猿猿辕躁援糟灶噪蚤援员园园猿鄄愿苑圆愿援圆园员远援园圆员怨 轴套内表面微结构掩膜电解加工模拟及试验研究 员 员 圆 员 员 宋义雄 袁王权岱 袁王莉 袁李辉 袁李言 ⎛员援西安理工大学机械与精密仪器工程学院袁西安摇 苑员园园源愿 ⎞ ⎜ ⎟ ⎝圆援 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室袁西安摇 苑员园园缘源⎠ 摘要院掩膜电解加工是金属基底表面织构化的有效手段袁为了实现在轴套内表面阵列微结构的加 工袁进行了活动掩膜电解加工方法的仿真与试验研究遥 建立了活动掩膜电解加工有限元计算模型袁 通过数值计算分析了图形分布均匀性及掩膜厚度影响电流密度分布的规律和机理遥 结果表明院采 用掩膜和阴极一体化的这种特殊电极结构形式袁加工非均匀占空比图形时更有利于得到一致的加 工深度曰通过控制掩膜厚度与图形特征尺寸的关系袁可以控制所加工的微结构底部形状遥 以仿真计 算结论为依据进行了掩膜电解试验优化袁并采用优化的工艺参数在轴套的内表面加工出了直径为 员园园滋皂的微坑阵列遥 关键词院掩膜电解曰微结构曰轴套曰数值模拟 中图分类号院栽匀远远圆摇 摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 摇 文章编号院员园园猿鄄愿苑圆愿渊圆园员远冤园圆鄄园圆远苑鄄园远 杂蚤皂怎造葬贼蚤燥灶葬灶凿耘曾责藻则蚤皂藻灶贼葬造杂贼怎凿赠燥灶栽澡则燥怎早澡鄄皂葬泽噪耘造藻糟贼则燥糟澡藻皂蚤糟葬造 酝蚤糟则燥皂葬糟澡蚤灶蚤灶早孕则燥糟藻泽泽枣燥则酝蚤糟则燥鄄贼藻曾贼怎则蚤灶早燥灶陨灶灶藻则杂怎则枣葬糟藻燥枣月怎泽澡蚤灶早 员 员 圆 员 员 杂燥灶早再蚤曾蚤燥灶早 袁宰葬灶早匝怎葬灶凿葬蚤 袁宰葬灶早蕴蚤 袁蕴蚤匀怎蚤 袁蕴蚤再葬灶 ⎛员援杂糟澡燥燥造燥枣酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造葬灶凿孕则藻糟蚤泽蚤燥灶陨灶泽贼则怎皂藻灶贼耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁载蚤忆葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁载蚤忆葬灶袁苑员园园源愿袁悦澡蚤灶葬⎞ ⎜ ⎟ ⎝圆援杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠枣燥则酝葬灶怎枣葬糟贼怎则蚤灶早杂赠泽贼藻皂泽耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁载蚤忆葬灶允蚤葬燥贼燥灶早哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁载蚤忆葬灶袁苑员园园缘源袁悦澡蚤灶葬 ⎠ 粤遭泽贼则葬糟贼院栽澡则燥怎早澡鄄皂葬泽噪藻造藻糟贼则燥糟澡藻皂蚤糟葬造皂蚤糟则燥皂葬糟澡蚤灶蚤灶早渊栽酝鄄耘酝酝冤蚤泽葬灶藻枣枣藻糟贼蚤增藻皂藻贼澡燥凿枣燥则泽怎则枣葬糟藻贼藻曾贼怎则蚤灶早 燥枣皂藻贼葬造 泽怎遭泽贼则葬贼藻援 栽燥 枣葬遭则蚤糟葬贼藻 贼澡藻 皂蚤糟则燥泽贼则怎糟贼怎则藻 葬则则葬赠 燥灶 贼澡藻 蚤灶灶藻则 泽怎则枣葬糟藻 燥枣 遭怎泽澡蚤灶早袁 贼澡藻 泽蚤皂怎造葬贼蚤燥灶泽 葬灶凿 藻曾责藻则蚤皂藻灶贼泽枣燥则栽酝鄄耘酝酝澡葬增藻遭藻藻灶糟燥灶凿怎糟贼藻凿援栽澡藻枣蚤灶蚤贼藻藻造藻皂藻灶贼皂燥凿藻造澡葬泽遭藻藻灶遭怎蚤造贼葬灶凿贼澡藻蚤灶枣造怎藻灶糟藻造葬憎泽葬灶凿 皂藻糟澡葬灶蚤泽皂泽燥枣责葬贼贼藻则灶凿蚤泽贼则蚤遭怎贼蚤燥灶灶燥灶怎灶蚤枣燥则皂蚤贼赠葬灶凿皂葬泽噪贼澡蚤糟噪灶藻泽泽燥灶贼澡藻糟怎则则藻灶贼凿藻灶泽蚤贼赠凿蚤泽贼则蚤遭怎贼蚤燥灶澡葬增藻遭藻藻灶 蚤灶增