浆料与切片.ppt

硅片切割液与硅片质量的关系 基本内容 一、切割技术 二、线切割液分类 三、切割液的基本作用 四、砂浆作用基理及对其的要求 五、切割过程由于砂浆所引发的主要 问题及原因分析 六、线切割液的发展趋势 1999-2010年世界太阳能电池产量增长 晶体硅光伏电池产业链 一、切割技术 ——浆料是使用带有一定粘度的介质也就是切削液与金刚砂混合而成，在游离磨料多线切割过程中，浆料首先供应到切割线上，然后被带到切割工作区域，因此浆料会对切割效率起到重要作用。 ——切削液以其高悬浮、高润滑、高分散和高冷却等特性将碳化硅等切割磨料均匀的附着在高速运动的钢丝线上，并通过快速运动来带动磨料实现对多晶硅（或单晶硅）的切割成片加工。 ——切割液是多晶硅光伏电池产业中必不可少的辅助生产材料。 二、切割液分类 1、广义切割液液分类： （1）按载体类型分（油基、水基、乳化液） （2）按功能作用分（杀菌、防锈、抗极压、润滑） 2、线切割液： 　水基、油基、化学合成及复配 。 三、切削液的基本作用 四、砂浆作用基理及对其要求 对砂浆的要求 （3）比热容→效率、花片→ （较高的比热容） 线锯切割在切割点的温度可能会很高，故砂浆较高的带热、降温能力会提高切割的效率，避免由于局部过热造成后续产品难于清洗的问题。 （4）电导率、硅粉含量→少子寿命、 花片、 TTV →（较低的电导率、硅粉含量） 砂浆中如果高含量的可电离物质存在会影响硅片的少子寿命；硅粉量高会形成局部砂浆团聚，降低切割效率，增加清洗难度。 （5）其他（适宜的表面张力、自由能、接触角） 五、切割过程由于砂浆所引发的主要问题及原因分析 线切割经常出现的问题有断线、跳线、花片、崩边、线痕、气孔、TTV片等几个方面； 和砂浆有关系的大体有花片、线痕、TTV片等几方面； 1、花片 （1）清洗剂 ； （2）清洗机 ； （3）剂、机配合 ； （4）砂浆质量问题； （6）脱胶时温度过高会形成硅粉附上造成花片； 2、线痕 　　切削液： 设计不合理（液膜厚度、粘度、表面张力、接触角） 　　砂浆： 砂液比设计不合理 　　其他： 粘胶的问题、工艺设定、机器内部设计原因、当硅棒内部有杂质、硅棒的放置　问题、磨料水份含量高，造成局部砂子聚集，不能很好的分散等等 3、TTV片 （1）砂浆不均会造成TTV片子量高； （2）当片子出现薄厚交替时，可能由于砂浆电导率、PH值高造成的。 六、线切割液的发展 1、切削液要具备良好的悬浮润滑、分散、带热性能； 2、液要适应切割工艺的要求，并与砂很好的配合； 3、液要适合片的发展：大片、细砂、细线； 4、总体线越来越细越，砂子粒径越来小，要求液的高温运动的流动性越来越好； 建议（抓稳定） 　　　1、人员要稳定，相对稳定的工艺及稳定的工艺调整； 　　　2、要有质量稳定的耗材供应，既有利于切割，又有利于将来的循环使用； 　　　3、产品的发展也要有稳定、合理的系统开发（机器、砂、线、液及应用厂家）； * 2008.06 上海 * 独立光伏供电系统 太阳电池方阵 医疗设备 电视 控制箱 逆变器 照明 硅料 光伏产业链 硅棒 硅片 太阳电池 电池组件 硅棒 切割液 （1）传统切割方式：外圆切割、内圆切割、线切割 （2）线切割 线切割：原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。 线切割未烧结的硬质合金时，可保证其软边缘不产生破损；切割脆性晶体切片的加工效果优于砂轮切割，表面机械损伤层较浅；加工温度较低，适于切割易炸裂材料；切割绝缘体不会引起崩碎；可切割精密窄缝；可切割大尺寸切片； 因此，线切割在硬脆材料的切割方面获得广泛应用。 1 切割方式 硅片切割三大耗材： 切割液＋碳化硅＋钢丝 2 晶体硅切割耗材 1、广义切削液的基本作用 　　冷却、润滑、清洗、防锈、抗极压、抗泡沫、携带、悬浮。 2、硅片切削液的作用 （1）携带：携带研磨粒进入加工区域； （2）悬浮分散：悬浮研磨粒子； （3）冲洗：冲洗硅碇和金属丝上的切削残留物； （4）带热降温：降低及带走切割产生的大量的热； 　　1、在浆料线锯切片过程中，位于切割区内的硅晶体轮廓可以被假设左图所示； 　　2、线锯在切割过程考虑为一段大曲率半径的圆弧，锯丝受径向力之前紧贴在硅晶体上； 　　3、切割区入口处研磨液（切削液携带砂）的冲击使锯丝与硅晶体之间形成径向间隙； 　　4、锯丝与硅晶体之间存在的相对速度、研磨液的粘度对切割均有影响。 　（1）液膜厚度要求→线痕→ （适宜的液膜厚度） 最小油膜厚度应大于磨料尺寸，因此磨料会悬浮在研磨液中，而不是由锯丝直接压在硅晶体上；油膜厚度与切割区长度、走丝速度、砂浆粘度和锯