4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1.ppt

* * Third floor, hot with lots of thermal 多次反射测量 经过镜面多次反射后光强变得很弱 增大了动态测量的难度 离轴非球面的测量 超薄镜面的检测 长焦距离轴非球面的测量 长光程测量 口径1.2m，半径40m 抛物面 长光程测量中的气流场 32m 光程, F 1.2m * 表面残差 PVq=89nm：去除zernike项后 * 口径0.8m，500次测量平均消除气流影响 加工现场检测 气流的均化与抑止 Confocal test of 3m radius, 300mm diameter spherical mirror - 0.0008 l rms 1s repeatability, 5 averages of 25 measurements 轻质复合镜：半径20m, 口径0.5m 振动环境 世界上最大的望远镜主镜 19.2m ROC, 8.4m diameter, F/1.14 Spin Cast Primary Mirror 环境仓内的低温测试 Figure testing of 300 mm Zerodur mirrors at cryogenic temperatures, Baer Lotz, SPIE 4822-4 July 2002 超音速冲击波 强激光的热过程 重要项目中的应用 亚利桑达大学 镜面实验室 2块 8米口径 长焦距 非球面的检测 4D动态干涉仪 小结 泰曼－格林型PhaseCam P4020： P5030：光学变倍 P6000 IR/NIR 共光路菲索型 F2000：短相干光源 F3000：He-Ne长相干光源 其它： WaveCam ESPI 多波长干涉仪… 谢 谢 1 背景： 目前应用对 振动对测量产生的影响是：造成干涉仪与被测光学元件之间的相对位移。因此要在一个振动周期内完成测量。 * * * * 采用引入误差的非共光路菲索型 使用普通标准镜头会影响测量精度 光源相干性受环境影响而不稳定 变倍－调焦 联动 CCD可靠性值得怀疑 每次测量都要两次校准调整做计算 测量软件非常繁琐费解 + 技术支持不利 … … ESDI H2000 的问题 Reference Collimator Beam Splitter Stop QWP Camera Pixelated Mask 短相干光源 HWP QWP PBS R R T T Coherent Test Background Polarizations 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 共光路 动态干涉仪 Pathmatch controls which surface is measured S1 S2 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续 Short Long 激光器的相干长度 短相干光源的优势 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续 光学厚度的测量 F2000 测量控制 4Sight F10 Recalibration:扫描找到起始零点，一般是TF的参考面 PathScan：在设定Range内扫描找到相关表面 StepSize：设定较小的值可以精确确定位置 Modulation Graph:可以看到扫描范围内的所有表面 F2000测量控制 定位不同的表面 扫描范围400 – 2000 mm 光学均匀性精确测量 * F2000 的远程光腔测量 Figure courtesy of K. Smith, Ball Aerospace JWST 次镜测试方案 800mm 直径双曲面 FizCam 2000 with F/5 diverging lens F2000 的远程光腔测量 * 300mm直径凸球面的拼接测量 普通干涉仪在拼接时，受气流影响太大 被测凸球面 共焦测量位置 * * F2000 4.2.3 F2000的应用－2 菲索型大口径方案 DIY 大口径菲索干涉仪 F2000-300 12”干涉仪 F2000-300 300TF 内应力 FizCam 2000 动态干涉仪 真正共光路的菲索型动态干涉仪 多元件、多表面的透过测量 远程空腔测量 均匀性测量 装夹应力测量 与扩束器结合构成大口径干涉仪 4.2.4 F2000的优势 真正的共光路菲索干涉仪 He－Ne光源：稳定的相干长度 动态 4.3 F3000 Laser 4.3.1 F3000 原理 z (t) z (t) Orthogonal polarizations from test