四氯化硅制备三氯氢硅技术研究进展.pdf

Nov． 2014 34 11 现代化工 第 卷第 期 ·14 · Modern Chemical Industry 2014 11 年 月 技术进展 四氯化硅制备三氯氢硅技术研究进展 1 1 1* 2 2 ， ， ， ， 郑 静 苏国良 黄国强 王国锋 潘金花 (1． ， 300072 ;2 ． ， 300192) 天津大学化工学院 天津 天津市天大北洋化工设备有限公司 天津 摘 : ， 要 阐述了多晶硅行业的生产背景和现状 概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四 ， 、 、 、 、 ， 氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法 氢化方法主要包括热氢化法 低温催化氢化法 冷氢化法 氯氢化法 等离子体氢化法等 ， ， 重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法 并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用 通过对各种方法 ， ， 。 综合性的分类与讨论 指出了现存方法的优缺点 并对各种方法的应用前景进行了展望 : ; ; ; ; 关键词 多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 反歧化反应 氢化反应 中图分类号:TQ028． 8 文献标志码:A 文章编号:0253 － 4320 (2014)11 － 0014 － 05 Ｒecent research progress in preparation of trichlorosilane from silicon tetrachloride 1 1 1* 2 2 ZHENG Jing ，SU Guo-liang ，HUANG Guo-qiang ，WANG Guo-feng ，PAN Jin-hua (1． School of Chemical Engineering and Technology，Tianjin University ，Tianjin 300072 ，China ; 2． Peiyang Chemical Equipment Co． ，Ltd． ，Tianjin 300192 ，China) Abstract :A general introduction of the background and status of polysilicon production is performed． T