5扫描式电子显微镜(SEM)检测实作观摩-国立高雄第一科技大学.PDF

微系統製造與實驗 -掃描式電子顯微鏡檢測實驗觀摩 5.掃描式電子顯微鏡 (SEM) 檢測實作觀摩 5.1實驗介紹 5.1.1 電子束和試片的作用 掃描式電子顯微鏡 (scanning electron microscope ，SEM)之電子束和試片的碰 撞作用可分為兩種，一為彈性碰撞，幾乎沒有損失能量；另一為非彈性碰撞，入射 電子束會將部份能量傳給試片，而產生二次電子、背向散射電子、歐傑電子、 X 光 長波電磁放射及電洞電子對等- (如下圖所示) ，這些訊號經由感測器感測並放大後， 即在陰極射線管 (cathode ray tube, CRT)上顯示試片的表面形貌，而越粗糙的表面與 越高原子數的元素，將有越多的電子被打離試片，所顯示在陰極射線管顯示面的灰 階質顏色就越淡。 入射電子在試片裡經彈性與非彈性碰撞後所放出之電子和電磁波 5.2實驗設備 5.2.1 掃描式電子顯微鏡 (SEM)規格 1. 偵測器：二次電子偵測器 7. 樣品台移動範圍︰X ︰20 mm 2.解析度：二次電子影像 -4.0nm Y ︰10 mm 3. 放大倍率：×15 ~ ×300,000 Z ︰5 ~35 mm 4. 鍍金機、外接式循環冷卻水槽 R ︰360° 5. 加速電壓：0.5 ~ 30 KV 6. 最大樣品空間：直徑 50 mm 1 國立高雄第一科技大學機械系 2003 微系統製造與實驗 -掃描式電子顯微鏡檢測實驗觀摩 5.2.1 掃描式電子顯微鏡 (SEM)外觀 真空腔體 鍍金機 5.2.2 掃描式電子顯微鏡 (SEM)各部位圖解 真空馬達 外接式循環冷卻水槽 真空腔體外觀 真空腔體內部 鍍金機腔體 渡金機 2 國立高雄第一科技大學機械系 2003 微系統製造與實驗 -掃描式電子顯微鏡檢測實驗觀摩 5.3 掃描式電子顯微鏡 (SEM)操作流程 5.3.1開機順序 1.開啟總電源開關 包含真空馬達、冷卻水槽 ( ) 。 總電源開關 2.開啟冷卻水槽開關切至 ON的位置，此石油迴式幫浦將會運轉。 冷卻水槽開關 冷卻水槽主機 3. 將 EVAC POWER (SEM 機台總開關)開關打開。 4. 將DISPLAY POWER (SEM 機台電腦開關)開關打開。 EVAC POWER DISPLAY POWER SEM 機台與電腦開關 5. 將腔體抽高真空，將真空控制鈕撥至 EVAC 真空控制操作面板 等待熱機完成(真空控制操作面板上黃燈熄滅)及抽至高真空後即可操作 3 國立高雄第一科技大學機