TiA1N涂层刀具强流脉冲电子束表面处理工艺多响应值优化研究.PDF

第36卷 第3期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2016年 3月 CHINESEJOURNALOFVACUUM SCIENCEANDTECHN0LOGY 3Ol TiA1N涂层刀具强流脉冲电子束 表面处理工艺多响应值优化研究 娄长胜 张 垒 芦 馨 金 光 (1．沈阳理工大学材料科学与工程学院 沈阳 110159；2富士康科技集团 深圳 518000) OptimizedSurfaceM odificationofTiAIN—CoatedCarbide ToolsbyBombardmentofHighCurrentPulsedElectronBeam LouChangsheng ，ZhangLei，Luxin ，JinGuang (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShenyangLigongUniversity，Shenyang110159，China； 2．FoxconnTechnologyGroup，Shenzhen518000，China) Abstract Thesurfaceso±theTiA1N ·coatedcarbidetoolsweremodified bybombardmentofhigh current pulsedelectronbeam．Theinfluenceofthemodificationconditions，includingbutnotlimitedtothedrivingvoltage， pulsedcurrentandpulse—number，onthemechanicalbehaviorofthecarbidetoolwasinvestigatedinResponseSur- faceMethodology(RSM)withself-developedmodelsforprocessoptimization．Theresultsshowthatthesurface modificationsignificantlyimprovesthemicrostructuresandmechanicalpropertiesoftheTiA1N—coatedcarbidetools． Tobespecific，modifiedatadrivingvoltageof11．7kVandapulsedcurrentof71．5A andofr20pulses，thesur— faceroughnesswasdecreasedto0．17 m ，themicro—hardnesswasincreasedto33．3GPa，andtheelasticmodulus wasincreasedto660．20GPa．Inaddition，theflankwearwasfoundtodecreaseroughlyby60％ inthetestsofthe TiA1N—coatedcarbidecuttingtoolswithandwithoutmodification． Keywords ResponseSurfaceMethodoloyg ，TiA1N coatedcarbidetools，High currentpulsed electronbeam， Multi—responseoptimization，Cuttingperformance 摘要 采用响应面设计方法对TiA1N涂层刀具强流脉冲电子束表面后处理工艺进行优化设计，结合回归统计建立硬质 合金涂层刀具的表面粗糙度、硬度以及弹性模量数学模型。此外，分别对三个数学模型进行显著性分析，以揭示输入电压、输 入电流和脉冲次数对涂层刀具表面粗糙度、硬度及弹性模量的影响。结果表明，强流脉冲电子束轰击过程 中的输入电压 、输 入电流和脉冲次数对涂层刀具的表面粗糙度、硬度以及弹性模量均具有显著影响。通过多响应值进行优化 ，得到了最佳工艺 参数组合。经此工艺条件处理后的TiA1N刀具表面粗糙度为0．17Ilm、显微硬度为33．39GPa、弹性模量为660．2