现代分析仪器与技术.DOC

现代分析仪器与技术 课程英文译名：Modern Analysis Instrument and Technology 课内总时数：83 学分：5 开课学院：电子信息学院 开课教研室：CAE 课程编号：B040604 课程类别：限选课 面向专业：电子科学与技术 课程的任务和目的 本课程是电子材料与器件在制造和失效分析等工作中所应掌握的一门专业知识，通过本课程的学习，使学生对主要的现代分析方法有一个较为全面的了解，通过掌握X射线和电子衍射分析、电子显微镜分析、电子能谱分析等方法的基本原理和基本技术，能够在实际问题中选用正确的分析方法，并对分析结果进行初步分析。 课程内容与基本要求 概论 要求学生了解材料结构与性能的关系，显微结构和成分研究的主要方面，微结构的XRD与EM分析方法。 X射线的性质 了解X射线的性质和产生方法，掌握特征X射线谱和连续X射线谱，X射线与物质相互作用时的散射、吸收和吸收限，了解X射线防护的基本知识。 X射线衍射方向 掌握X射线衍射中所需的基本晶体学知识，尤其是晶面指数、晶向指数、镜面间距和晶面夹角的公式，用布拉格公式处理衍射问题。了解产生X射线衍射的方法。 X射线衍射强度 了解X射线衍射强度的意义，掌握常见结构的结构因子，多晶X射线衍射强度的计算方法。 多晶分析方法 了解X射线衍射的粉末照相法，掌握粉末X射线衍射花样的指标化。着重掌握X射线衍射仪的实验方法，点阵常数的精确测量方法。 X射线物相分析 重点掌握定性分析的原理和方法，PDF卡片的组成和查找方法，定量分析原理和方法，时机分析中会遇到的问题。 宏观应力测定 掌握单轴应力和平面应力测定的原理，采用衍射仪和应力仪分析应力的方法，了解影响残余应力测定精度的因素。 电子光学基础 了解传统光学先未将分辨率的极限，电磁透镜的原理、组成和分辨本领，电磁头茎的景深和焦长。 投射电子显微镜 了解投射电子显微镜的结构与成像应力，样品台、支持网、光阑及消像散等概念。了解投射电子显微镜的分辨本领和放大倍数的测定。 复形技术 掌握质厚衬度原理，一级复形和二级复形，萃取复形的制备一粉末样品的分析。 电子衍射 掌握布拉格方程在待腻子衍射中的应用，倒易点阵与爱瓦尔德球图解法。掌握晶带定律与零层倒易面，偏移矢量与倒易点阵的扩展，相机常数及电子衍射基本公式。掌握选区电子衍射的方法，单晶电子衍射花样的标定，了解复杂电子衍射花样的标定。 晶体薄膜衍衬成像分析 了解投射电子显微镜用薄样品的制备方法，掌握衍衬中心明场像和暗场衍射成像原理，了解消光距离的概念，衍衬动力学理论，境界晶体中的层错、位错和第二相粒子的分析方法。 扫描电子显微镜 掌握电子束与样品相互作用时产生的各种信号，扫描电子显微镜的构成和工作原理，扫描电子显微镜的分辨率和放大倍数。掌握二次电子成像原理和表面形貌像的应用。 电子探针显微镜分析 了解电子探针的结构和工作原理，波谱仪和能谱仪及其特点，电子探针显微分析中的定性和定量方法，电子探针成分分析的应用。 15、其它显微分析方法简介 了解离子探针、低能电子衍射、俄歇电子能谱、场离子显微镜、STM、AFM以及XPS分析技术和应用。 16、实验部分 通过XRD对粉末样品的简单和复杂物相分析、投射电子显微像分析及样品制备、投射电子衍射和ESD分析，熟悉大型精密仪器和掌握分析技术。 三．实践环节及基本要求 序号 实验项目 时 数 每组人数 内容提要 实验性质 类别 验证 设计 综合 演示 必做 选做 1 粉末样品XRD物相分析 6 2 通过对粉末样品的XRD简单和复杂物相分析，掌握基本的分析技术 √ √ 2 透射电子显微分析样品制备 6 2 掌握透射电子显微分析相关技术 √ √ 3 透视射电子显微像分析 4 2 熟悉透射电子显微像分析相关技术 √ √ 4 透射电子衍射分析 4 2 掌握基本的透射电子衍射分析技术 √ √ 5 ESD分析1 6 4 掌握ESD分析分析技术及其在电子材料中的应用 √ √ 6 ESD分析2 6 4 掌握EDS分析分析技术机器在电子器件中的应用 √ √ 7 扫描电子镜使用 4 2 熟悉扫描电子镜适用与图像分析相关技术 √ √ 8 扫描电子图像分析 4 2 掌握扫描电子镜使用与图像分析技术在电子器件中的应用技术 √ √ 9 晶体结构模型及其粉末样品XRD物相分析CAD技术 7 2 通过对粉末样品的XRD简单和复杂物相分析，掌握基本的分析技术 √ √ 实验指导书：自编 *选做实验学时