电子报-微奈米科技研究中心-成功大学.PDF

電子報 第 2015-1期 2015-11-23 最新消息 Ü 本中心新增整合代工服務 歡迎多加利用， 請洽， ：陳子欣工程師 (06) 275-7575 ext. 31380#208, tzuhsin@.tｗ 。 Ü [2015-11-25] 104工研院與臺綜大/成大學研計畫期末報告暨成果展歡迎報名參加， 。 Ü [2016-01-28~29] 本中心將舉辦「奈米創新科技種子教師研習營」歡迎高中老師報名參加， （代碼 ：1881488） 。 Ü [Coming Soon] 本中心將於2016年中舉辦液態奈米影像競賽展請注意電子報最新消息， ！ Ü 本中心誠徵品牌經營團隊博士研究員 、廠務氣化工程師 。 課程動態 Ü [2015-11-26]電子束微影製程 ─多層對準技術訓練班 「 電子束微影製程」是本中心已建立的混搭(Mix-and-Match)製程中的一種 ，藉由適當的參數控制可製作極小線寬的圖案，可實現 數百微米到數十微米的各式圖案 ；但許多研究上不僅需要圖案的製作 ，更需要精確的多層定位 ，本課程將實機教授電子束微影製 程的多層對準定位。 （報名 ） Ü [2015-11-27]電子束微影製程 ─Proximity effect correction校正軟體訓練班 電子束微影製程由於電子的散射效應 (scattering effect)，造成無法精準地實現CAD所設計出之圖案 ，尤其當線與線相互靠近時，來自 於背向散射電子的能量，嚴重地影響線與線之間的區域 ，稱之為鄰近效應 (Proximity effect)，不僅影響圖案的正確性，同時也影響線 寬的精準度。電子束微影系統配備有專用校正軟體 (Beamer)，本課程將實機教授鄰近效應校正。（報名 ） Ü 本中心儀器與技術訓練課程每月20-25日開放選課 。更多訓練課程請留意本中心網站的「， 課程公告 」。 相關問題請洽 ：林丹琪管理師 Tel ：06-2757575 ext. 31380#202 ；Email ：walin@.tw 線上課程 簡介 Ü 奈米微影與製程無塵室和奈米檢測與分析實驗室 更多儀器教學影片請參見本中心， 網站 。 Ü 儀器與技術 多功能掃描探針顯微鏡Bruker Dimension ICON ICON 具備 PeakForce掃描模式，為目前最新的掃描模式，能提供更高解析度及精準 度。此模式可穩定的控制探針與樣品間的相互作用，從微生物分子的軟式樣品至極高 硬度的金屬 ，提供最低作用力至pN來進行奈米級的成像，可輕易觀察到直徑小於 5 nm高度小於 1 nm之量子點 。 此儀器整合PeakForce掃描模式與QNM機械力量測技術，可提供高解析奈米材料機械性 質分析 包括彈性模量、材料附著力、損耗和變形， ，且能同時獲得奈米級的表面與機械 性質形貌。另外，PeakForce QNM還可應用於生醫的活細胞、病毒和組織來研究生物 結構，透過力斜坡率可測量黏彈性質。（繼續閱讀……） ◆諮詢窗口 ： 蔡淑如博士 Te