电子探针JXA-8100ElectronProbeMicroanalyzer.PDF

电子探针JXA-8100 Electron Probe Microanalyzer 电子探针显微分析仪（Electron Probe Microanalyzer,简称电子探针或EPMA）是一种微区成分 分析的仪器，它利用被聚焦到 1μm 以下的高能电子束激发试样，再经 X 射线波谱议或 X 射线能谱议 分析从试样产生的特征X射线的波长和强度，从而定性或定量地绘出体积仅为几立方微米（甚至更小） 的微小区域的化学成分。 电子探针分析具有以下功能： 非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析） 微米尺度的空间分辨分析 轻元素的定量分析 元素的面分布分析 痕量元素的成分分析 精细结构分析 JXA-8100电子探针主要技术指标 二次电子分辨率：6nm（工作距离11mm） -5 -12 束流范围：10 ~ 10 A -3 -3 束流稳定度：±0.5×10 /h；±3×10 /12h 放大倍数：×40 ×300,000 ~ 元素探测范围： Be U 4 ~ 92 罗兰圆半径：140mm、100mm（H型）两种 最大分析样品尺寸：100mm×100mm×50mm 样品台重复精度：±1µm 定量分析结果 定性分析结果 背散射电子像 Fe-K α彩图 Mg-K α彩图 二次电子像 线分布分析 面分布分析