电子束、离子束、电浆加工-kuasedutw.PDF

非傳統加工– 熱加工 電子束加工 離子束加工 電漿加工 電子束加工 電子束加工是將受激振後所產生的電子流，利 用導引或約束裝置將其集結成束後，以高速撞 擊於工件上，將其動能轉換為熱能，即可進行 切削或熔接 若是將電子撞擊到工件材料後，依工件材料受 激發出來的二次電子或波長等特徵，即可進行 檢驗工件。 電子束的產生與導引 -4 首先將(真空)容器抽真空，真空度達10 mm Hg ，然後通以電源，此時鎢燈絲會產生電子， 藉著電磁線圈導引電子，約集成束，然後打擊 到工件，以執行所須的操作如切削、熔接或 檢驗。 電子束是由電子鎗產生，電子鎗是由三極真空 管(triode)組成： 陰極(cathode) ：一個熱的鎢絲燈，會放射出電子 柵極杯(grid cup) ：對電子流施以負偏壓(靜電場) ， 以控制其流動，如同電子流之開關。而且電子流會 被聚焦成一收斂束，從陽極孔通過 陽極(anode) ：將電子束加速 最後的聚焦是由電磁線圈所產生的電磁場完成 電子束的產生 電子束是由電子鎗產生，電子鎗是由三極真空管 (triode)組成： 陰極(cathode) ：一個熱的鎢絲燈，會放射出電 子 柵極杯(grid cup) ：對電子流施以負偏壓(靜電 場) ，以控制其流動，如同電子流之開關。而且 電子流會被聚焦成一收斂束，從陽極孔通過 陽極(anode) ：將電子束加速 電子束加工系統圖; 電子束加工裝置的構成 功率密度-電子束加工的原理 以電壓V(V)加速電流I(A)的電子束於半徑a(cm)的點，功率密度P 為： P= V I/πa2 6 設V=150kV 、I=10mA 、a=0.01cm ，則P =5×10 W/cm 電子束照射導致材料表面溫度上昇 功率密度差異導致加工過程差異 電子束加工的基本方程式 電子束加工的應用 電子束切削 電子束熔接 電子束檢驗 電子束切削 也是熱電加工法，亦如同雷射光切削，加工過程中可達 高溫及擁有高熱能強度。利用前述原理產生的電子束， 若以高速度地撞擊工件，可將動能轉為熱能，藉著高熱 能強度(即能量高度聚集) ，即有足夠的熱能來揮發局部 的工件材料，達到切削目的。 優點 精度高，適合需要高精度的細微切削 乎難以發現，可得很精確的公差 缺點 設備成本高 須熟練的技術 須在真空中操作，工件大小較受限制 電子束熔接 亦是利用密集且高速的電子 束撞擊工件而得局部高熱 能，以熔接工件者。 熔接方式可利用溶化工件的 對接或穿透工件而達到熔接 效果，一般都需要填充金 屬。 由於加入熔接點的熱量遠大 於其發散量，故可以得到相 當大的深度/寬度比值。 不但可用於熔接普通金屬， 尚可用於耐高溫、易氧化的 金屬，以及不易熔接之合金 如鋁合金等。 電子束檢驗 例如電子顯微鏡即是利用前述的電子束產生裝 置，經導引並撞擊到待測工件後，檢測其受激 發而產生的二次電子、x射線，以及其他可用以 判定其特性的射線或電子、中子等等 由於每種元素的二次電子等等，都具有不同的 特性，故可由檢測到的二次電子等，而判定待 測工件中所含的元素以及其表面特性等有關性 質 離子束加工 離子束加工是將離子流節 縮為極細束狀，以與電子 束加工一樣在材料表面進 行加工 為了產生離子束須先產生 電子束 在放電室供給適量氣體 (氬)