电子束蒸发台-上海交通大学.PDF

设备介绍 设备中文名称 电子束蒸发台 设备英文名称 E-Beam Evaporator 使用单位 上海交通大学电子信息与电气工程学院 经费来源、账号 985 使用单位批准人 刘新钊 使用单位联系 董承远 021 人、电话、传真 E-mail 地址 cydong@sjtu.edu.cn 拟购供货商、联 北京北仪创新真空技术有限责任公司 系人、电话 拟购设备品牌: 无 型号: ZSX-500 技术参数: 以4 英寸基片为准，镀膜厚度在2000 埃时，均匀性为3%，蒸发速率20 埃/每秒。 用途: 此设备采用电子束蒸发方式进行镀膜，可以镀制各种金属、半导体和介质膜。 原理: 电子束加热坩埚内原料蒸发至基板上成膜。 功能: 两个电子枪，8 个坩埚；可实现铝、铜、金、银、钼、钽、钛、铬等金属或合金成膜。 检测对象:无。 含软件名称 自带软件，用于机台控制。 及其功能 存放地点 综合实验楼1 楼洁净房 备 注 无。 2013 年 1 月 22 日