原创力文档- 1、本文档共1页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
电子束镀膜机
電子束鍍膜機
電子束鍍膜機
儀器說明 ：利用電子濺鍍Au, Au/Ge材料為主
收費標準 ：
使用費含：a. 系統維護費（2,000 NT/次）b. 耗材費（Au ：500 NT/克、Au/Ge ：550
NT/克、Pt ：1,000 NT/克、其餘金屬：150 NT/次、N2 gas ：50 NT/hr ）
[專人操作] ：系統維護費 + 耗材費 + 人事費（500 NT/hr ）
儀器放置地點 ︰電資大樓F4009 室
附註：
一：光電元件製程共用實驗室免費使用設備：烘箱、半導體參數分析儀、光阻塗裝機、
攪拌機、超聲波振盪器、探針座（自備探針，如由本實驗室提供每支 500 元）、光學顯
微鏡（ ’ 1000）
二：以上各項耗材費包括使用耗材如手套、光阻、無塵紙及各種化學藥品。
三：共同實驗室之會員免付系統維護費，入會費300,000 NT （life-long ）。
四：外校X1.2 。
聯絡方式 ：
指導教授：朱安國 教授 中山大學光電所
儀器負責人：蔡昭源 同學
TEL ：(07)5252000轉4466
FAX ：(07)5254456
E-mail ：d953050015@.tw
.tw/jl/132.htm[2009/6/2 上午 10:23:39]
文档评论（0）