第4章微分析技术-中国可靠性网.PDF

第４章 微分析技术 引 言 微分析技术综合了电子束、离子束、激光束 微分析技术综合了电子束、离子束、激光束 和X射线等分析技术。 和X射线等分析技术。 检测元器件和材料中表面、界面及体内的微区 检测元器件和材料中表面、界面及体内的微区 形貌、结构、组份及杂质分布。 形貌、结构、组份及杂质分布。 微分析多数工作是检查特征形状：图形线条 微分析多数工作是检查特征形状：图形线条 边沿的锐度、特征以及定位失准等。可用光学、 边沿的锐度、特征以及定位失准等。可用光学、 扫描电子和透射电子显微技术观测。三种方法的 扫描电子和透射电子显微技术观测。三种方法的 最大放大倍数分别为1k、50k和500k倍，放大倍 最大放大倍数分别为1k、50k和500k倍，放大倍 数范围相互交叠，因此，特征形貌绝大部分都可 数范围相互交叠，因此，特征形貌绝大部分都可 得到仔细检查。 得到仔细检查。 ４. １ 电子显微镜和X射线谱仪 ４. １ 电子显微镜和X射线谱仪 ４. １. １ 电子束与固体表面的作用 ４. １. １ 电子束与固体表面的作用 一定能量的电子入射到固体表面 一定能量的电子入射到固体表面 时，将受到多次散射。 时，将受到多次散射。 由于原子质量远大于电子质量，电 由于原子质量远大于电子质量，电 子受到散射后只改变方向而未损失 子受到散射后只改变方向而未损失 能量的叫弹性散射，既改变方向又 能量的叫弹性散射，既改变方向又 损失能量的散射叫非弹性散射。 损失能量的散射叫非弹性散射。 中国可靠性网 用 作 互 图 相 意 面 示 表 息 体 信 固 种 与 各 束 的 子 生 电 产 射 入 背散射电子 入射电子经多次弹性或非弹性散射后，基本 上保持原来能量而又能逃逸离开表面的称为 背散射电子。 二次电子 入射电子由于能量较高还可使表层原子电离 而放出二次电子，这些二次电子主要来自原 子外层价电子，也有一些是内层电子。实际 的二次电子只指其所带能量为5eV以下的那 些逸离表面的电子。 中国可靠性网 俄歇电子 失去电子的原子处于受激状态，其能量较 失去电子的原子处于受激状态，其能量较 高，经过一定时间后要弛豫退激，即自发 高，经过一定时间后要弛豫退激，即自发 地跃迁到能量较低的状态。弛豫方式主要 地跃迁到能量较低的状态。弛豫方式主要 有俄歇电子发射和特征X射线发射，前者是 有俄歇电子发射和特征X射线发射，前者是 指外层电子跃迁到内层空穴的同时，将多 指外层电子跃迁到内层空穴的同时，将多 余能量传给另一外层电子，如果能量足 余能量传给另一外层电子，如果能量足 够，就使后者发射出来成为俄歇电子。 够，就使后者发射出来成为俄歇电子。 俄歇电子发射涉及三个能级，氢及孤立锂 俄歇电子发射涉及三个能级，氢及孤立锂 原子不可能产生俄歇电子。 原子不可能产生俄歇电子。 俄歇电子携带能量与涉及的三个壳层有 俄歇电子携带能量与涉及的三个壳层有 关，所以带有元素的特征能量。 关，所以带有元素的特征能量。 特征X射线 当原子弛豫时，若将多余的能量以光子辐射的 当原子弛豫时，若将多余的能量以光子辐射的 形式放出，其能量关系有如下式： 形式放出，其能量关系有如下式： h υ＝E －E h υ＝E －E 1 2