第7章表面处理-东莞理工学院机械设计制造及其自动化专业工程实践.PDF

东莞理工学院工程训练中心  第 7 章 表面处理 7.1概述 表面处理也称表面工程，它是将固体材料表面与基体一起作为一个系统进行设计，利用 表面改性技术、薄膜技术和涂镀层技术，使材料表面获得它本身没有而又希望具有的性能的 系统工程。表面工程技术包括了表面改性技术、薄膜技术和涂镀层技术。 1.表面改性技术 表面改性技术是利用现代技术改变材料表面的化学组成、相结构，提高材料表面性能的 处理技术。主要包括：表面形变强化处理、表面相变强化处理、离子注入、表面扩散渗处理、 化学和电化学转化膜处理等。 2.薄膜技术 采用物理气相沉积﹙蒸镀、溅射、离子镀﹚和化学气相沉积的方法在零件表面上沉积厚 度为 100nm至数微米薄膜的形成技术，称为薄膜技术。薄膜涵盖的内容很广泛，按其用途可 分为光学薄膜、微电子学薄膜、光电子学薄膜、集成光学薄膜、信息存储膜和防护装饰薄膜 等。 3.涂镀层技术 在零件表面涂覆一层或多层表面层的形成技术称为涂镀层技术。主要包括：电镀和化学 镀、油漆等有机涂层、金属和陶瓷等无机涂层、热浸镀层等。 4.表面工程技术的功能和作用 ﹙1﹚提高材料表面的耐磨性、耐腐蚀性以及抗高温氧化性。 ﹙2﹚提高材料抗疲劳的能力。 ﹙3﹚提高材料耐热、导热、隔热、吸热、热反射的性能。 ﹙4﹚赋与材料特定的物理性能，如导电、绝缘、半导体特性、超导、存储、电磁屏蔽、 发光、消光、光反射、雷达波“隐身”、红外“隐身”、传感、可焊等。 ﹙5﹚赋与材料声、光、磁、电转换及存储记忆的功能。 ﹙6﹚赋与制件表面装饰的特性。 7.2真空蒸发镀膜 真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是在真空条件下，加热蒸发物质使之气化、成为具有一定能量 的气态粒子(原子、分子或原子团)，沉积到被镀物体表面，形成固态薄膜。蒸镀是物理气相 沉积中发展较早、应用较广泛的一种干性镀膜技术。   7.2.1 真空蒸发镀装置及原理 蒸镀装置主要由真空抽气系统和镀膜室组成。图 7‐1 所示为采用电阻蒸发源的真空蒸镀 装置示意图。  1.真空抽气系统       镀膜室在工作时为高真空状态，通过真空抽气系统获得。真空抽气系统由(超)高真空泵、 ‐2 ‐3 低真空泵、排气管、阀门以及真空测量计等组成。可将镀膜室抽真空至 10 ～10 Pa。       2.镀膜室         镀膜室大多用不锈钢制成。镀膜室内包括有蒸发源、基板，被镀工件装夹在基板的位置， 用卡具固定。此外，还置有测量膜厚并监控薄膜生长速率的膜厚计以及控制薄膜生长形态的 基板加热器等。    1 东莞理工学院工程训练中心      图7－1真空蒸镀装置示意图 l—镀膜室 2—基板 3—金属蒸发流线 4—电阻蒸发源 5—电极 6—电极密封绝缘件 7—排气系统 8—交流电源     3.蒸发源      蒸发源是用来加热镀层材料使之蒸发变为气态的部件。目前，真空蒸发使用的蒸发源主 要有电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热和激光加热。其中，电阻加热蒸发源 由电阻温度系数大的高熔点金属钨、钼、钽等制成。将待蒸镀的材料装在蒸发源上，电极通 以低压大电流交流电，产生高温后直接进行蒸发。或者把待蒸镀材料放入AL O 、BeO 等坩 2 3 埚中进行间接加热蒸发。大量蒸发成气态的金属原子，离开蒸发源的熔池表面，到达零件表 面凝结成金属薄膜。电阻加热蒸发源一般用