第七章电子束和离子束加工.PDF

第七章电子束和离子束加工 第一节 电子束加工 1.加工原理 电子束加工是利用高速电子的冲击动能 来加工工件的，如图下所示。在真空条件下， 将具有很高速度和能量的电子束聚焦到被加 工材料上，电子的动能绝大部分转变为热能， 使材料局部瞬时熔融、汽化蒸发而去除。 2014/11/25 1 电子枪系统 聚焦系统 电子束 抽真 空系 统 工件 电源 及控 制系 统 图1 电子束加工原理 2014/11/25 2 控制电子束能量密度的大小和能量注 入时间，就可以达到不同的加工目的。 如只使材料局部加热就可进行电子束热 处理；使材料局部熔化就可以进行电子 束焊接；提高电子束能量密度，使材料 熔化和汽化，就可进行打孔、切割等加 工；利用较低能量密度的电子束轰击高 分子材料时产生化学变化的原理，即可 进行电子束光刻加工。 2014/11/25 3 2．特点与应用 电子束加工的特点如下： (1) 电子束能够极其微细地聚焦(可达l～0.1μm)， 故可进行微细加工。 (2) 加工材料的范围广。由于电子束能量密度高， 可使任何材料瞬时熔化、汽化且机械力的作用极小， 不易产生变形和应力，故能加工各种力学性能的导 体、半导体和非导体材料。 (3) 加工在真空中进行，污染少，加工表面不易被 氧化。 (4) 电子束加工需要整套的专用设备和真空系统， 价格较贵，故在生产中受到一定程度的限制。 2014/11/25 4 由于上述特点，电子束加工常应用于加 工微细小孔、异型孔(如图2所示)及特殊曲 面。图3所示为电子束加工弯曲的型面。其 原理为：电子束在磁场中受力，在工件内 部弯曲，工件同时移动，即可加工曲面 Ⅰ； 随后改变磁场极性，即可加工曲面Ⅱ；在 工件实体部位内加工，即可得到弯槽Ⅲ； 当工件固定不动，先后改变磁场极性，二 次加工，即可得到一个入口、两个出口的 弯孔Ⅳ。控制电子束速度和磁场强度，即 可控制曲率半径。 2014/11/25 5 0.03～0.07 mm 图2 电子束加工的喷丝头异形孔 2014/11/25 6 电子束在磁场中受力，在工件内部弯曲，工件同时移 动，即可加工曲面Ⅰ；随后改变磁场极性，即可加工 曲面Ⅱ；在工件实体部位内加工，即可得到弯槽Ⅲ 当工件固定不动，先后改变磁场极性，二次加工，即 可得到一个入口、两个出口的弯孔Ⅳ 3