第六章电子束和离子束加工天津职业技术师范大学机械制造教研室.PDF

第六章电子束和离子束加工 天津职业技术师范大学 机械制造教研室 §6电子束和离子束加工 电子束和离子束加工是近年来得到较大发 展的新兴特种加工，在精密微细加工方面， 尤其是在微电子学领域得到了较多的应用。 §6.1 电子束加工 §6.2 离子束加工 §6.1 电子束加工 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.3 电子束加工的应用 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 电子束加工原理 – 在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子 束，以极高的速度冲击到工件表面极小面积上，在 极短时间内，能量的大部分转化为热能使材料局部 熔化和气化，被真空系统抽走。 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 控制电子束能量密度的大小和能量注入的时间，可以达 到不同的加工目的：电子热处理、电子束焊接、打孔 切割、电子束光刻等。 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 电子束加工特点 – 电子束可以微细地聚焦（可达0.1微米），是一种精密微细的加工 1 方法。 – 能量密度高，生产效率高。 2 – 是非接触式加工，不产生应力和变形，加工材料范围广（脆性、 3 韧性、导体、非导体）。 – 可以通过电场或磁场对电子束的强度、位置、聚焦等直接进行控 4 制，整个加工系统易实现自动化。 – 污染少，表面不氧化，特适合加工易氧化的材料。 – 整个加工系统价格较贵，生产中受到一定的限制。 5 6 §6.1.1 电子束加工的原理和特点 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.2 电子束加工装置 §6.1.2 电子束加工装置 电子枪——获得电子束的装置 §6.1.2 电子束加工装置 控制系统 – 束流聚焦控制（电磁透镜）、束流位置控制（电磁 偏转）、束流强度控制、工作台位移控制（适合大 面积加工）。 电源 – 电子束加工对电源电压稳定性要求较高，需要稳压 设备。 §6.1.2 电子束加工装置 电磁透镜的聚焦作用 – 电子束在前进过程中切割电磁线圈 产生的径向磁场而产生圆周运动； – 电子束在圆周运动时切割电磁线圈 产生的轴向磁场而产生径向（向心） 运动； – 电子的合成运动为半径越来越小的 空间螺旋线 §6.1.3 电子束加工的应用 高速打孔 – 最小直径为0.003mm – 在厚度为0.1mm厚的不锈钢上加工直径为0.2mm 的 孔，每秒可加工3000个 – 在人造革上利用电子束打大量微孔，使其具有真皮 革同样的透气性 §6.1.3 电子束加工的应用 加工型孔和特殊表面 – 异型孔 • 人造纤维喷丝头异型孔 • 窄缝宽度0.03~0.07mm，轮廓0.8mm – 曲面、弯孔 §6.1.3 电子束加工的应用 焊接 – 电子束能量密度高，焊接速度快，焊缝窄而深，焊件热影响 区域小，变形小。 – 焊接过程在真空中进行，焊缝化学成分纯净，焊接接头强度 往往高于母体。 – 能够完成一般焊接方法难以实现的异种金属焊接，能够实现 将复杂的工件分成几个零件，各自选取最合适的材料和方法 进行加工，最后利用电子束焊接成完整工件，从而获得理想 的技术性能和经济效益。 §6.1.3 电子束加工的应用 焊接