纳米压印技术-天津大学研究生e-Learning平台.PDF

先进制造技术课程大作业 2014 年10 月 纳米压印技术 包亚洲 天津大学机械学院机械工程专业2014 级硕士生 摘要：纳米压印技术是一种先进的制造技术，它突破了传统的光刻在特征尺寸减小过程中的难题，具有分辨率高、低成本、 高效率的特点。它是1995 年由美籍华人stephen Y Chou 提出的，经过多年的发展，已经在多个领域应用，尤其是在生物医学， 生物芯片，mems[1]等领域应用广泛。本文主要介绍了纳米压印技术的产生、发展及现状，并且介绍了纳米压印技术的原理， 设备等方面。 关键词：先进制造技术 光刻 纳米压印 缩小，就需要光刻中曝光波长的减小，而涉及到 * 曝光波长的变化，就需要光刻工具的更替，这种 0 前言 更替需要的花费及其昂贵，对于许多公司来说都 是望而止步。因此，许多研究机构都在努力寻找 为了进一步推动纳米科学技术的研究及其产 可替代的光刻技术。1995 年，华裔科学家周郁（S 业化的发展，一种工艺过程简单、成本较低、生 tephen Chou[3] ）提出了纳米压印光刻（NIL ）的 产效率高的纳米制造技术——纳米压印应运而 思想。它的定义为：不使用光线或者辐照使光刻 生，纳米压印光刻工艺不同于传统光刻工艺，它 胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上 不是通过改变阻蚀剂的化学特性实现其图形化， 利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。有别于传 而是通过阻蚀剂的物理变形实现图形化。因此， 统的光刻技术，纳米压印将模具上的图形直接转 其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径以及光刻 移到衬底上，从而达到了量产化的目的。纳米压 胶表面光反射、光刻胶内部散射、衬底反射和显 印光刻技术具有加工原理简单，分辨率高，生产 影剂等因素的限制，可突破传统光刻工艺的分辨 效率高，成本低等优点。 率极限。此外，它还可以大批量重复地在大面积 上制备纳米级的图形结构，并且所制作的图案具 2 纳米压印技术的机理及其分类 有很好的均匀性和重复性。因此，该技术还具有 低制作成本和高效率的优点。 经过十几年的研究，纳米压印技术已经有了进一 步的完善，目前纳米压印技术主要包括热塑纳米 1 从压印到纳米压印 压印技术[4] [5] （HEL ）、紫外压印（UV-NIL ） 、微 [6] 接触印刷（u CP ） 以及激光辅助压印等。纳米 压印这门古老的技术，从几千年前就为我们 压印是加工聚合物结构的最常用的方法。它采用 的生活带来了便利。古代帝王的玉玺、四大发明 高分辨率电子束等方法将结构复杂的纳米压印结 的活体印刷，甚至是我们的中秋美食月饼，都是 构图案制在模板上。然后用预先图案化的模板使 压印技术的完美应用。硅器时代，