纳米薄膜及相应三维结构的构建、特性及应用.PDF

中国科学: 技术科学 2016 年 第46 卷 第2 期: 142 ~ 165 《中国科学》杂志社 SCIENTIA SINICA Technologica SCIENCE CHINA PRESS 评 述 纳米薄膜及相应三维结构的构建、特性及应用 黄高山, 梅永丰* 复旦大学材料科学系, 上海 200433 * E-mail: yfm@ 收稿日期: 2015-08-26; 接受日期: 2015-10-25; 网络出版日期: 2015-12-30 国家自然科学基金(批准号:、教育部高等学校博士学科点专项科研基金(编号: 20120071110025)和上海市科学技术委 员会“创新行动计划”(编号: 14JC1400200)资助项目 摘要 纳米薄膜是纳米材料家族一个新兴的成员, 由于其特征厚度介于原子以及微米量级之间且具有高比表 面积, 纳米薄膜展现出了与宏观材料不同的特殊性质. 纳米薄膜可以进行人为的操控甚至从衬底上脱离成为独 立的薄膜. 纳米量级的厚度使得该薄膜容易图形化以及加工成为复杂的二维、三维微纳结构. 本文综述了纳米薄 膜研究领域近年来的研究成果, 包括各类性质研究和潜在应用方面的探索. 纳米薄膜及相应三维结构在电学、光 学、磁学、微纳机电等领域的广泛应用前景将使其成为纳米材料与器件研究领域一个重要的研究方向. 关键词 纳米薄膜, 低维结构与器件, 柔性电子学, 巨磁阻, 光学谐振腔, 微纳机电 1 引言 一个新的研究方向. “纳米薄膜”实际上为固体薄膜中 的一类特例, 通常是指厚度在 1~100 nm 的薄膜, 且 1.1 纳米薄膜 其两端被周围环境所隔开, 如气体、真空或者其他材 固体薄膜通常指材料的一个维度的尺度比其他 料. 纳米薄膜由于其纳米量级的厚度以及二维的宏 另外两个维度的尺寸小 1~2 个数量级[1]. 它在多个领 观特性, 为纳米世界和宏观世界之间架起了桥梁, 甚 域有着广泛的应用, 如平板显示、硅平面技术以及保 至可以用肉眼进行观察[2]. 由于其特征厚度介于原子 护镀膜等. 此外, 在基础研究以及应用两个方面, 固 以及微米量级之间且具有高比表面积, 纳米薄膜展 体薄膜也被广泛研究. 相关的研究工作对于现代材 现出了与宏观材料不同的特殊性质. 比如, 纳米薄膜 料科学、微电子学、光学以及生物学等领域产生着重 比块体材料具有更强的形变能力. 此外, 随着尺度的 大影响. 固体薄膜的研究为其他领域开辟了新的道 减小, 电子材料出现显着的量子限域效应. 这些特殊 路, 尤其是微纳机电系统(Micro-/Nano-Electrome- 性质常常促成新的纳米技术应用, 使得相关的研究 chanical System, MEMS/NEMS) 以及芯片实验室(lab 得以蓬勃发展. 在本文中, “纳米薄膜”被定义为厚度 on a chip)等交叉学科领域. 为 1~100 nm 的薄膜, 包括单层、双层或多层结构的 随着纳米科学的发展, “纳米薄膜”成为纳米材料 薄膜[3]. 为了论述的完整性, 必要时我们也将介绍厚 引用格式: 黄高山, 梅永丰. 纳米薄膜及相应三维结构的构建、特性及应用. 中国科学: 技术科学