基于低相干干涉的透镜厚度测量及生物影像研究进展.pdfVIP

第 34 卷第1 期 影像科学与光化学 Vol. 34 No.1 2016 年 1 月 Imaging Science and Photochemistry Ja n. 2016 都像馆息革钝岛处锺~.f~ 综述 基于低相干干涉的透镜厚度测量及 生物影像研究进展 檀泽浩1 ， 2 ，冯云鹏1 ， 2\ 王钟3 (1.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心，北京 100081; 2. 北京理工大学深圳研究院，广东深圳 518057; 3. 深圳市博瑞汇达科技有限公司，广东深圳I 518057) 摘 要:低相干光干涉测量技术作为重要的非接触测量方法之一，由于具有结构简单、测量速度 快及分辨率高的优点，在光学系统的非接触测量及生物医学影像等前沿领域具有广阔的应用前 景。本文对透镜组的光学元件中心厚度及空气间隔的非接触测量技术进行了总结，简述了基于 OCT 的生物医学影像方面研究现状，重点论述基于低相干光干涉法测量原理和研究进展，对比 分析相关研究方法的优缺点和创新之处，并从系统结构和应用范围的角度对低相干干涉测量技 术的发展趋势作了展望。 关键词:非接触测量;低相干干涉;光学层析成像;透镜厚度;生物医学影像 doi: 10. 7517/j. iss几 1674-0475.2016.01.005 文章编号: 1674-0475(2016)01-0005-10 激光差动共焦技术对于轴向几何参数的测量精度 非接触测量技术由于其无接触损伤且精度较 较高，尤其是低相干干涉技术的原理比较成熟。 高的优势，逐渐应用于光学系统几何参数测量及 近年来，低相干干涉技术的研究逐渐由结构紧凑 生物组织影像领域。光学透镜的折射率、曲率半 的分离透镜式结构向稳定性更高的光纤式结构发 径和中心厚度作为透镜系统的 3 个基本参数，其 展，并扩展到应用范围更广的光学相干层析领域。 精度会直接影响整个光学系统成像质量，因而在 在低相干干涉系统中，宽带光源的相干长度 透镜加工及镜组装调的过程中需要严格控制这些 较短，一般为微米级别，需要通过移动参考光使其 参数的误差。目前，非接触式光学测量方法主要 与物光发生干涉，这就决定了该系统不仅可以测 包括图像法、低相干干涉法、复色共焦法(即轴向 量单一透镜，也可用于测量透镜组中各个光学表 色散法)、差动共焦法、偏振干涉法等。其中，低相 面之间的几何量。传感器部分一般采用迈克尔逊 干干涉技术(亦称白光干涉或部分光干涉技术)和 2015-10-23 收稿， 2015-11-10 录用 国家自然科学基金项目 和北京市自然科学基金项目(2132047 ， 4144083)资助 奖通讯作者，E-mail: roc@bit.edu.cn 5 6 影像科学与光化学 第 34 卷