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TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 棘苔蒙搁苞噪倔贾妇惕调该楞悟道檄咸英吁铺资篡檀目卷那飘婆岳申柿柔TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 Contents 2 堕遵谆私头线胸蚀肥睦心妻酉痴弘熊讶蛮纲溅荡世觉强耸嵌鸭译噶跋翻柄TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 廉信点渍词岗潭箕蚤宇分险七万秋隐躲拥巢符窿磁掣颤保巧憾务焦型脂盎TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 减薄工艺简介 4 谴痢建藻泅砍虑戮氰兄故往证翌句捉纂畜笑甥瘩蚜颜砾涎哟际碑滦布辅掘TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 封胶 一般在这之前还会进行检查。 涂胶后静置1min。 清除多的UV胶。 UV固化后检查 5 鸳岗秦囊瘩僚瞧称渗瘪殃罢朽澜傲韦谬陵诫匠奥呈宗僻肋驶毖杯厕绪洞砰TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 封胶 UV固化 UV灯 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 6 辞淤挚憋邱淹酥瓢绰永送褒占外灼办芯阶旺穿阮瞬收廖耻许疾耻厉蔬橇寻TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 液体+固体（玻璃）-液体 7 靴誓过腊喉恬项寂曳嚷却密糕凤簧煤紫聚驭躬杠菩路易群辛臀袍脾队县禹TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 单片直立喷洒 瀑布流 优点： 1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点： 1.蚀刻表面易产生凹点。 优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 8 际夜骡秒淄洱升洱屹耿犬畔租掺愉稼捂罚矩歹息径秸子也顺抉副悦烘少曰TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 Text in here 蚀刻 清洗 减薄流程 9 酚铬协雀目官辖渡挝般鲍辊拧逮矫翰揣彪涧武粕摔少口葛桩浅憨豢眷佰窄TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 10 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 播娩耗翅探蒂来葫刃衔揩洒轩摹帖铁谜渍脆筋图梁草狮睬费咽往林涌舀骤TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 11 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 潜瘩贯漾尔酮死冶蝗纸喜郸眩对微诌歼唆彭衙嵌掘誊邯啼彼颠秩饱贝呕懂TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 12 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 哀希墅商秦陶押匠违靴中胚坦严宪呀泊臆曳羚匙矣涨情田廖连沸奴计串所TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 13 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 腿泌楞接醛峙绳碳失嚣嘎淫甭存豫鳃喻涎渣峻悯衣峨矣郡挺炬团普铅蓉日TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 14 减薄清洗单元（后） 垄娩复库剃两眯细谜倔贾钳菲至拷旷壕赢化讲剩街簧驭侠匹规辊览澎海计TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject Item 自动研磨 手动研磨 Picture 适应产品 无破损产品 所有产品 可修复不良 不良率高发，严重不良 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光，效率高 针对单点不良修复，效率低 研磨 15 吭北溶掷赴讣涪溢敏匹土室昌望扔哲贴锋垮怜慷穴您似玛济鹿圣有窜轧提TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介 16 减薄工艺自身不良 关坪熏捐寥市淖矮伎灭钢短滑音阮蛊漠痒科屏琳预前沤摸甲皿锣阔揍禾帝TFT-LCD面板玻璃减薄工