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真 空 VACUUM 第 4期 2001年 8月 环境扫描电子显微镜的关键技术 朱 武，干蜀毅，王先路 (台肥工业大学机械与汽车工程学院，安敷 台肥 230009) 摘 要：环境扫描电子显微镜在气体压力高达 6600Pa．温度高选 1500C，具有任何气体种类的多气环境里， 都可提供高分辨率 的二次电子成像 。如此优 良性能的获得 ，取决于两项新技术 ：一是将柱形 电子导管的真空 环境与样品室环境分开 ；二是使用了一个在样品室非真空环境下仍然能起作用的二次 电子探头 。这些 问题的 解决是开发ESEM 的关键。 关键词；环境扫描电子显微镜；限压狭缝；环境二次探头 中图分类号 ：TN16 文献标识码 ：B 文章编号 ：1002—0322(2001)04—0034—04 KeytechniquesofESEM ZHU W u，GAN Shu—yi，WANG Xian—lu (MachineryAndAutomobileEngineeringCollege，H UniversityofTechnology，Hefei230009，China) Abstract：TheEnvironmentalScannEngElectronMicroscopes(ESEM )offershighresolutionsecondaryelectronimagingina gaseousenvironmentofpracticallyanycomposEtlontatpressuresashighas6600Pa，andtemperaturesashighas1500 ℃． Theseresultftom twonew techniques．Thefirstisseparatingthev~cuum eJIv[ronmentoftheelectroncolumnfrom theenvl— ronmentofthesamplechamber．Thesecond isusingasecondaryelectrondetectorthatcould functioninthisnon—VBcuum sampleenvironment．ThesolutionsoftheseproblemsBrethekeystothedevelopmentoftheESEM ． Keywords：ESEM ；pressureIimitingaperture；environmentsecondarydetector 扫描 电子显微镜 (SEM)要求样品放在高真空 高真空，电子束在此 由高压产生并被加速；同样希望 环境中，且样品应具有耐真空力、真空亲和力 、导电 柱形导管内各处也是高真空，因为气体分子会散射 性ill。实际上 ，不满足这些标准的应用场合远远超过 电子，降低电子束性能 ESEM 出现之前，在用单个 满足这些标准的应用场合。要想认识象木材这样的 限压狭缝(PLA)将样品室与柱形导管分开方面就已 样品——潮湿、油腻 、污秽、具一定的耐真空力、较小 经做了一些工作 ，但收效甚微 ，原因是光学方面的要 的真空亲和力 、不导电——在 自然状态下的结构， 求与真空方面的要求相冲突——要求一个狭缝大得 SEM似乎就无能为力了。为了扩大SEM 的应用范 足以让电子束通过，同时又必须小得足 限制气体 围，就要取消对样品室的高真空要求。而要做到这 流动 ]。 点，必须克服两个障碍：首先必须将SEM 的柱形电 如同 CSEM，ESEM 也是 由这样几个部分组 子导管的真空环境与样品室环境分开；其次需要一 成：电子枪及产生 电子束的柱形电子导管、电子束与 个在样品室非真