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软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列
+半导体光电, 年 月第 卷 增刊 赵 悦 等% 软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列
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软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列
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赵 悦 !赖建军 !史锡婷 !易新建 !张 坤
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华中科技大学 光电子工程系#湖北 武汉 $ 重庆光电技术研究所#重庆 %
DE O$WO !E OL
摘 要! 介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过
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程!实验过程和测试结果表明聚二甲基硅氧烷# $模具可以完好地将母版上的微透镜阵列
K@:6
复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上并可多次使用且母版无损伤!此技术具有速度快工艺简单
的特点可用于微透镜与图像传感器的单片集成!
关键词! 微透镜!聚合物!紫外模塑!软刻蚀
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中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
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