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4.3 磁电式传感器 概述 4.3.1 磁电感应式传感器 磁电感应式传感器也称为电动式传感器或感应式传感器。 ◆磁电感应式传感器是利用导体和磁场发生相对运动产生感应电动势的，它不需要辅助电源就能把被测对象的机械量转换成易于测量的电信号，是有源传感器。 ◆由于它输出功率大且性能稳定，具有一定的工作带宽（10～1000 Hz），所以得到普遍的应用。 4.3.1 磁电感应式传感器 1. 磁电感应式传感器工作原理 ◆根据电磁感应定律，当w匝线圈在恒定磁场内运动时，设穿过线圈的磁通为Φ，则线圈内的感应电势E与磁通变化率dΦ/dt有如下关系： ◆根据这一原理，可以设计成两种磁电传感器结构：变磁通式和恒磁通式。 ◆下图是变磁通式磁电传感器，用来测量旋转物体的角速度。 4.3.1 磁电感应式传感器 图（a）为开磁路变磁 通式：线圈、磁铁静止 不动，测量齿轮安装在被 测旋转体上，随之一起转 动。每转动一个齿，齿的 凹凸引起磁路磁阻变化一次，磁通也就变化一次，线圈中产生感应电动势，其变化频率等于被测转速与测量齿轮齿数的乘积。这种传感器结构简单，但输出信号较小，且因高速轴上加装齿轮较危险而不宜测量高转速。 4.3.1 磁电感应式传感器 图（b）为闭磁路变磁 通式，它由装在转轴上的 内齿轮和外齿轮、永久磁 铁和感应线圈组成，内外 齿轮齿数相同。当转轴连 接到被测转轴上时，外齿轮不动，内齿轮随被测轴而转动，内、外齿轮的相对转动使气隙磁阻产生周期性变化，从而引起磁路中磁通的变化，使线圈内产生周期性变化的感生电动势。感应电势的频率与被测转速成正比。 4.3.1 磁电感应式传感器 ◆ 恒磁通式磁电传感器结构原理图 4.3.1 磁电感应式传感器 ◆磁路系统产生恒定的直流磁场，磁路中的工作气隙固定不变，因而气隙中磁通也是恒定不变的。其运动部件可以是线圈（动圈式），也可以是磁铁（动铁式），动圈式和动铁式的工作原理是完全相同的。当壳体随被测振动体一起振动时，由于弹簧较软，运动部件质量相对较大。当振动频率足够高（远大于传感器固有频率）时，运动部件惯性很大，来不及随振动体一起振动，近乎静止不动， 4.3.1 磁电感应式传感器 振动能量几乎全被弹簧吸收，永久磁铁与线圈之间的相对运动速度接近于振动体振动速度，磁铁与线圈的相对运动切割磁力线，从而产生感应电势为: 式中： B0——工作气隙磁感应强度； L——每匝线圈平均长度； w——线圈在工作气隙磁场中的匝数； v——相对运动速度。 4.3.1 磁电感应式传感器 磁电式传感器直接输出感应电动势，且传感器通常具有较高的灵敏度，不需要高增益放大器。但磁电式传感器是“速度”传感器，若要获取被测位移或加速度信号，则需要配用积分或微分电路。 4.3.2 霍尔传感器 霍尔传感器为载流半导体在磁场中有电磁效应（霍尔效应）而输出电动势的一种传感器。 ◆随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。 ◆霍尔传感器广泛用于电磁测量电流、磁场、压力、加速度、振动等方面的测量。 4.3.2 霍尔传感器 1. 霍尔效应及霍尔元件 1）霍尔效应 置于磁场中的静止载流导体，当有电流I通过时，在垂直于电流和磁场方向上产生电动势的现象称霍尔效应，该半导体薄片称霍尔元件。 4.3.2 霍尔传感器 ◆薄片中的电流是自由电子在电场作用下的定向运动。此时，每个电子受洛仑磁力Fm的作用，Fm的大小为： 式中：e-电子电荷；v-电子运动平均速度； B-磁场的磁感应强度。 ◆Fm的方向在图中是向上的，此时电子除了沿电流反方向作定向运动外，还在Fm的作用下向上漂移，结果使上底面积累电子，而下 4.3.2 霍尔传感器 底面积累正电荷，从而形成了附加内电场EH，称霍尔电场，该电场强度为: 则 ◆此时电荷不再向两底面积累，达到平衡状态。 4.3.2 霍尔传感器 ◆ 若薄片单位体积内电子数为n，电子定向运动平均速度为v，则激励电流I=nvbd（-e），则: