p-n型cuo-α-fe2o3复合半导体材料的制备与气敏性能研 究.pdfVIP

2017正1月 郑州大学学报(工学版) Jan． 2017 of V01．38NO．1 第38卷第1期 Journal Science) ZhengzhouUniversity(Engineering 文章编号：1671—6833(2017)Ol一0087—05 p-n型CuO／oL—Fe203复合半导体材料的 制备与气敏性能研究 秦 聪1，王 燕2，陈泽华1，孙广1 摘 要：采用化学沉淀法制备了纯态CuO和C／．．Fe，O：颗粒，并采用沉积一沉淀法将P型半导体CuO负载 到n型半导体o／,一Fe：O，表面，制备了p-n型复合半导体氧化物气体敏感材料CuO／o￡-Fe，0，．对所合成的 材料进行了XRD、SEM、TEM和XPS表征．结果显示：负载量较低时，CuO高分散在Or．．Fe，O，栽体表面，当 负载量达到30％时，形成了新的CuFe，O。晶相；所合成的样品由粒径大小约10nm的纳米颗粒组成．气 敏性能测试结果显示：该材料在100℃的较低温度下，对CO的灵敏度相对纯Ot—Fe，O，提高了几十倍． 关键词：p-n型；CuO／cc—Fe，0，；复合氧化物；CO；气敏材料 中图分类号：TB34 文献标志码：A doi：10．13705／j．issn．167l一6833．2016．04．024 感器是基于气体传感器互补增强和互补反馈原理 0 引言 的一种新结构半导体气体传感器¨…．文献[14] 氧化物半导体气敏元件因其灵敏度高、制作 报道了p-n型CuO．ZnO薄膜的制备，其对还原性 工艺简单及使用方便等优点，成为气体传感器中 气体表现出良好的敏感性能．文献[15]提出了利 备受关注、发展最快的传感器类型之一‘1。。．近年 用气敏元件的互补增强和互补反馈原理设计n— 来，一系列半导体气敏材料如SnO，、ZnO、Fe，O，、 掺杂SnO，的p-n型半导体LPG敏感材料．文献 In：O，、TiO：、WO，等相继被开发出来¨。1．由于受 到灵敏度、选择性、温度等因素的限制，半导体气 敏传感器的应用推广目前还存在一定的问题．如 室温下对ppb级(10—9)的H：s气体的检测．本研 何从根本上改善材料的敏感性能，如提高灵敏度 究中，采用沉积一沉淀法负载P型半导体CuO到I1 和选择性、实现低温下对待测气体的低检测限和 型半导体Ⅱ．Fe20，材料表面上，设计制备p-n型 定性识别依然是半导体气敏材料研究领域所面临 半导体气敏材料和气敏元件，并系统研究该材料 的一大挑战．通过国内外研究者的努力，运用超细 对乙醇和一氧化碳气体的敏感性能． 化合成‘8‘9I、贵金属掺杂Ⅲ。11|、表面修饰‘121等技 1 实验方案 术手段，使材料的敏感性能得到了逐步的改善． 近年来，为了进一步提高金属氧化物半导体 1．1 纳米CuO和纳米0【．Fe，O，的制备 气敏材料性能，p-n型复合半导体气敏材料的研 采用化学沉淀法制备CuO和仅·Fe：O，纳米 究受到了国内外学者的广泛关注’1”…“．相同基质 颗粒，具体制备过程如下：在磁力搅拌下，将0．2 mol／L的 或不同基质构成p-n型后，当价带电子受激发跃 mol／L的Na：CO，水溶液滴加到0．