半导体物理与器件ppt课件.pdf

课程主要内容  固体晶格结构：第一章  量子力学：第二章~第三章  半导体物理：第四章~第六章  半导体器件：第七章~第十三章 1 绪论  什么是半导体 按固体的导电能力区分，可以区分为导体、半导体和绝缘体 表1.1 导体、半导体和绝缘体的电阻率范围 材料 导体 半导体 绝缘体 -3 -3 9 9 电阻率ρ( Ωcm) ＜10 10 ～10 ＞10 2 绪论 半导体具有一些重要特性，主要包括：  温度升高使半导体导电能力增强，电阻率下降 如室温附近的纯硅(Si)，温度每增加8℃，电阻率相应地降 低50%左右  微量杂质含量可以显著改变半导体的导电能力 以纯硅中每100万个硅原子掺进一个Ⅴ族杂质（比如磷） 为例，这时硅的纯度仍高达99.9999%，但电阻率在室温下 却由大约214,000 Ωcm降至0.2 Ωcm 以下  适当波长的光照可以改变半导体的导电能力 如在绝缘衬底上制备的硫化镉(CdS)薄膜，无光照时的电 阻为几十M Ω，当受光照后电阻值可以下降为几十K Ω  此外，半导体的导电能力还随电场、磁场等的作用而改变 3 1.1半导体材料  元素半导体（Si、Ge ）  化合物半导体（双元素，三元素等） 4 1.2固体类型 半导体的晶体结构 一、晶体的基本知识 长期以来将固体分为：晶体和非晶体。 晶体的基本特点： 具有一定的外形和固定的熔点，组成晶 体的原子（或离子）在较大的范围内（至 少是微米量级）是按一定的方式有规则的 排列而成－－长程有序。（如Si，Ge， GaAs ） 5 1.2固体类型 半导体的晶体结构 晶体又可分为：单晶和多晶。 单晶：指整个晶体主要由原子(或离子)的一 种规则排列方式所贯穿。常用的半导体材 料锗(Ge)、硅(Si)、砷化镓(GaAs)都是单 晶。 多晶：是由大量的微小单晶体（晶粒）随机 堆积成的整块材料，如各种金属材料和电 子陶瓷材料。（晶界分离） 6 1.2固体类型 半导体的晶体结构 非晶（体）的基本特点： 无规则的外形和固定的熔点，内部 结构也不存在长程有序，但在若干原子 间距内的较小范围内存在结构上的有序 排列——短程有序 （如非晶硅：a-Si ） 7 1.2固体类型 半导体的晶体结构  非晶体（无定型）  多晶  单晶 8 1.3空间晶格 晶体是由原子