某4.5代低温多晶硅有机电致发光显示器车间空调系统设计.pdfVIP

2014年6月 洁净与空调技术CC＆AC 第2期 某4．5代低温多晶硅有机电致 发光显示器车间空调系统设计 世源科技工程有限公司 郄雪红 摘 要 介绍了工程概况，论述 了该项 目的特点：工艺车间空调设计参数要求高；新风处理过程较复杂； 工艺生产环节之间相互污染的控制。 关键词 洁净室；温度控制；湿度控制；AMOLED；新风处理过程 HvacSystem DesignofA FactoryForAmoled QieXuehong AbstractIntroducedthegeneralsituationofhteproject，discussedhtecharacteristicsoftheHVACsystemdesignedfor htebuilding：strictdemandofroom airpraameter；complicatedprocessexhaustsystems；airpollutioncontrolbetween differentprocesses． KeywordsCleanroom ；Temperatureconrtol；Humiditycontrol；AM OLED；Make—upairtreatmentsystem O 引言 OLED显示技术 自1997年开始进入市场 。随 纵观全球显示产业 的发展，显示技术发生了 着技术的发展以及手机等中小尺寸电子消费产品的 日新月异的变化，已经从彩色CRT独霸显示市场时 更新换代和快速增长，OLED显示产品已经逐渐走 代进入了以Ⅱ 一LCD、OLED为代表的平板显示产 入人们的视野 。以三星、索爱等为代表 的终端厂商 业时期。随着 电子显示产品的多元化发展以及消费 相继推出一系列采用AMOLED显示屏的智能手机产 者 日益提升的产品性能需求，超薄、节能、真彩显 品，大力推广炫彩、超薄和节能的理念。 示、柔性显示、3D技术正在成为未来显示技术的发 从发展态势看，AMOLED工艺技术不断成 展方向，在下一轮平板显示产业发展浪潮中，OLED 熟，市场需求急剧膨胀，产品质量快速提升，消费 技术将凭其优异的显示特性脱颖而出，引领下一代 者对AMOLED产品的认知度和接纳程度不断提高， 新型显示技术的跨越式发展。 产品成本逐渐下降，可以判断AMOLED产业 已经进 OLED (OrganicLight— EmittingDisplay，有 入产业成长期，是企业进入行业的理想时机。 机发光显示器)是指有机半导体材料和发光材料在 1 项 目概况 电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的现 象。 本项 目主要新建一条第4．5代 AMOLED生产 AMOLED(ActiveMatrix／OrganicLightEmitting 线、一条彩色滤光片生产线及其配套动力设施。本 Diode)是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传 项 目主要建、构筑物有：生产和支持厂房、动力站、 统的液晶面板，AMOLED具有反应速度较快、对 气体站、废水站、门卫室、变 电站、化学品库、研 比度更高、视角较广等特点。 发楼等组成。本文主要就 1号建筑 (阵列车间、彩 膜车间、蒸镀车间、模组车间)的洁净空调设计进 郄雪红，女，1979年 1月生，硕士研究生，工程师 行分析总结，舒适性空调不属本文探讨范围。 200433上海市