基于平行平板的折射率高精度非接触测量-中国科学院南京天文光学技术.PDFVIP

第 卷 第 期 应 用 光 学 ３３ １ Ｖｏｌ．３３Ｎｏ．１ 　 　 　 年 月 ２０１２ １ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡ ｌｉｅｄＯ ｔｉｃｓ Ｊａｎ．２０１２ 　 　 ｐｐ 　 ｐ 文章编号 ： （ ） １００２２０８２２０１２０１０１４８０５ － － － 基 于平行平板 的折射率高精度非接触测量 ， ， 熊 芬 胡 中文 姜 明达 　 （ ， ； 中国科学院国家 天文 台 南 京 天文光学技术研究所 江苏 南 京 １． ２１００４２ ， ； ， ） 中国科学院 天文光学技术 重点实 验 室 江苏 南 京 中国科学院研究生院 北京 ２． ２１００４２ ３． １０００４９ ： 、 、 、 ， 摘　 要 常 用的测量折射率的方 法如偏 向角法 自准直 法 临界 角法 Ｖ 棱镜 法等 这 些方 法通 常 。 ， ， 。 需特 制 三棱镜 与待 测件 待 测样 品 不 一 致 且过 程 复杂 测 试 定标 周 期 长 难 于 自动 化 为了保 ， 。 证待 测材料 的完整及 实现 自动化 测量 进行 了基 于平行 平板 的折 射率 非接 触 测量的 尝试 运 用 ， 。 ， 该方 法进行折射率的测量 不 需特 制 三 棱 镜 并且 待 测件 与待 测样 品 一 致 分析 表明 通过 选择 ， （ ）， ， 合适 的测量角度 该方 法旋转 角度精度 为 ＝０．００３° 即 １０″ 导轨精度 为 ＝０．０００ ８ｍｍ 平 Δ Δ 　 ａ Ｌ 行 平板 厚度 测量精度 为 Δ ＝０．００１ｍｍ。 ｄ ： ； ； 关键词 光学测量 折射率 非接 触 测量 中图分类号 ： ； 文献标志码 ： ： ／ ＴＮ２０６ ＴＨ７５１