声光固体光学位置传感器.PDFVIP

声光固体光学位置传感器 摘要：本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光（AO）固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感 器的系统结构、工作原理、特点和 3-D 表面分布测量结果。 关键词：有源三角测量技术；表面分布；AO 位置传感器；干涉仪。 中图分类号：TP212.14 文献标识码：A 文章编号：1006-883X(2002) 11-0029-03 一、引言 随着科学技术的发展，动态 3D 传感技术为获取更多的关于 3D 世界的信息提供了强有力的工具。本文描述的 AO 固体光学位置传 感器是一种优秀的任意 3D 形状传感器，这种传感器没有传统传感器的精度、速度场、柔韧性等限制，可用于工业 3D 形状测量、医学、 防卫与科学研究等各种领域。AO 固体光学位置传感器基于结构光有源三角测量技术，可提供绝对距离测量，计算简单，视频满场表面 分布测量，准确可靠。 二、结构 图 1 为 AO 固体光学位置传感器的系统结构，包括光源、摄像装置和电子信号传输系统。 1、光源 光源为波长 784nm 功率 15mW 的激光二极管。来自激光二极管的光被显微镜物透镜（数值孔径NA=10.025）的前孔径收集和准 直。椭圆光束的主轴充满 AO 调制器（AOM）输入孔径的水平轴。AOM 产生三束可以观察的光束：一个零阶（直线传播）光束和两个 衍射光束，约 50%的入射功率进入两个衍射光束。20mm 的透镜将光束会聚到焦平面，零阶光束就锁定在焦平面。经过 94cm 的发散 距离后，最后的干涉条纹分布在 25cm x 8cm 的目标面积上。因为产生结构花样的是点光源干涉法，来自两个光束的干涉条纹充满整 个接收光空间。 2、摄像装置 CCD 摄像机用 50mm f/1.5透镜距目标 69cm和 30°角。相对于光源中心线扫描物体。数字化照相机的立体像由数字帧取样器 以 30frame/s 的速率收集供计算机分析。CCD 积分时间对新的目标进行调节，但对于给定的目标，在数据收集期间积分时间保持不 变。 北京市海淀区闵庄路 3 号 清华科技园·玉泉慧谷 1 栋 2 层 电话：010 传真：01088857469-8008 3、信号产生 数字合成器以 62.5MHz 的公用采样频率产生的两个正弦波数据流，在计算机控制下每个正弦波信号的频率与相位以 32位的精 度定位。第一个正弦信号控制 AOM 驱动参数，而第二个正弦信号控制激光器。 数字数据的第一信道用与 25MHz 低通滤波器相耦合的 12位 DAC 转换成模拟信号。频率为 fm 的信号与频率为 80MHz 的晶振输 出相混合。因为信号与一个有源倍增器相混合，对于选定的AOM 晶振中心频率 fc 不能通过，导致倍频 AOM 驱动参数具有低于-40dB 的噪声。利用一个小型 RF 放大器可使 AOM 驱动功率最佳化为 850mW。 数字数据的第二个信道用与低通滤波器耦合的 12位 DAC 转换成模拟信号，所得模拟信号是方波脉冲列，占空比由控制相对于固 定比较器值的正弦波幅值所确定。测量实验用占空比固定为 25%，脉冲列的频率固定为 2fm。这种二进制信号的作用类似 TTL 触发器， 以 200MHz 的开关速度驱动激光二极管。 三、测量方法 1、AO 传感器 AOM 射频驱动信号的合成方法是将调制频率 fm 与中心频率 fc相混合。因为光束的角分离与调制频率，源-点分离和干涉条纹间 距成比例，所以可直接由 fm控制。目标表面某个位置的时间平均光强I为： 式中，t—时间； (x,y,z)—表示目标表面的位置； s(x,y,z)—是移动干涉条纹花样； A(Φt)—归一化振幅调制 (AM)。 因为 s(x,y,z)可以写成 s[f(x,y,z)-t]。式中 f 是实函数，方程 (1)可看作具有 AM 波形的正弦移动条纹分布在一个周期上 的卷积。因为 s 只包含一个空间频率，卷积定理表明不管 AM 信号的形式如何，最后的条纹分布将是正弦条纹花样。条纹对比度和质 量可用百分调制率 M 来描述：