Al2O3涂层微波介电特性研究.pdfVIP

， 曹孝 抖 2010年第10期(41)卷 等离子喷涂 ZnO／A12O3涂层微波介电特性研究 周 亮，罗 发 ，周万城，朱冬梅 (西北工业大学 凝固技术国家重点实验室，陕西 西安 710072) 摘 要： 采用等离子喷涂工艺，以氧化锌 (ZnO)作为 度为 D5o一0．8tLm。 吸收剂，氧化铝 (AlO。)为填料 ，聚 乙烯醇 (PVA)为粘 将 ZnO和 AlO。粉按不同比例混合后，以玛瑙球 结剂制备成 ZnO／A1O。复合涂层。分析 了复合涂层 为球磨介质，在行星式球磨机 中混料，混料 时间为 的相组成及微观结构，研 究了氧化锌含量对复合涂层 60min。胶水与水按 1：1的配比搅拌混合均匀 。将混 介电性能的影响。结果表 明，经喷涂后的涂层 中有新 和均匀的胶水溶液缓慢倒人搅拌好的混合粉末 中，边 相 ZnAlO 生成，其含量随原料 中ZnO的含量增加而 倒人边搅拌 ，直到混合粉末全部处于湿润团球状态。 增加。涂层的密度与涂层 中氧化锌含量有关。介 电性 然后于烘箱 中 100℃烘干 2h后用研钵研磨 ，过 100、 能测试表明，涂层中ZnO含量的增加使涂层介 电常数 200目微孔筛 ，得到粒度在 75～15Om，流动性 良好 的 实部 (e)及损耗 (tan3)先增加后 降低 。Zn0摩 尔含量 Zn0和 AlO。混合颗粒。 为 65 时，随频率的增加，涂层介 电常数呈降低 的趋 2．2 喷涂过程 势 。 采用微弧等离子喷涂设备在石墨基片进行喷涂。 关键词 ： ZnO／Al。0。；等离子喷涂；介电常数 ；复合涂 喷涂参数如表 1所示。 信 中图分类号： TQ129 文献标识码 ：A 表 1 等离子喷涂参数 文章编号：1001—9731(2010)10—1800—03 Table1Plasmasprayingparameters 参数 数值 1 引 言 Arecurrent(A) 240 ZnO是直接带隙宽禁带 Ⅱ一Ⅵ族半导体氧化物，其 Arcvoltage(V) 30 Primarygas(Ar+N2)flow rate(L／min) 14 结构为六角纤锌矿结构 ，室温下带宽约为 3．30eV，具 Secondarygas(N2)flow rate(L／min) 2 有很好的化学稳定性 、热稳定性和光电性能L1]。因此 ， Spraydistance(ram) 8O ZnO在压电、光电、传感器 、透明电极、表面声波和太阳 Powdercarriergasflowrate(L／min) 4 能电池等领域取得了突破性 的进展 2【]。此外 ，由于氧 Powderfeedrate(g／min) 3 化锌质量轻、厚度薄 、颜色浅及对一定波段的电磁波的 2．3 性能表征 吸收具有优异的性能等优