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王 振 等 ：氮离子注人浓度对弹条钢基体 Cr／CrSiN复合涂层 的摩擦学性能影响研究 氮离子注入浓度对弹条钢基体 Cr／CrSiN 复合涂层的摩擦学性能影响研究 王 振 ，茶振兵 ，沈明学 ，彭金方 ，李彦军。，朱昊昊 (1．西南交通大学 牵引动力国家重点实验室摩擦学研究所，四川I成都 610031； 2．重庆大学 机械传动国家重点实验室 ，重庆 400044；3．成都铁路局 重庆机器制造厂 ，重庆 400053) 摘 要 ： 在轨道用扣件弹条钢 (60Si2Cr)上注入 不同 分数 ( )，0．56C，1．50～2．00Si，0．60～0．90Mn，HV一 浓度 的氮离子 ，用 电弧 离子镀技术沉积 了Cr过渡层 ， 640)基体抛光(至R 一0．1ffm)后分别用丙酮、酒精和去 并在其上制备 了CrSiN／Cr复合涂层 。在 UMT一3多 离子水清洗并干燥后放在真空室中。薄膜的沉积工艺 功能摩擦 磨损机上对复合层进行 了法向载荷为 20N 主要包括预热 、离子清洗、注入不 同浓度的氮离子(注入 的摩擦磨损 实验 ，探讨 了经不 同氮 离子注入浓度后 剂量依次为 5×10”、9X10”、13X10”cm。)，在此基础上 Cr／CrSiN复合涂层摩擦磨损行为和损伤机理，研究发 分别沉积过渡层 Cr和CrS|N涂层。 现，经氮离子注入后 ，复合涂层表面硬度 明显 的增加 ， 在纳米压痕仪 (NHT，CSEM)上测定涂层的纳米 随着离子注入浓度的升高涂层的耐磨性逐渐提高，其 硬度和弹性模量值 ，压头为金刚石 Berkovich针尖 ，测 磨损机制主要为剥落和磨粒磨损 。 试载荷分别为 3和 100mN，加载卸载速率 2mN／min， 关键词 ： 离子注入 ；CrSiN涂层 ；摩擦磨损 ；磨损机理 保载时间 60s。摩擦磨损实验在 CETRUMT多功能 中图分类号： TH1l7．3 文献标识码 ：A 摩擦磨损机 (UMT一3)上进行 ，采用球一盘式往复滑动方 文章编号 ：1001—9731(2012)l9-2689—05 式，实验参数如下 ：往复摩擦位移为 lmm，载荷 20N， 频率 2．5Hz，循环次数 50000次，实验条件为干摩擦 ， 1 引 言 对磨球为 D10的 Si。N 球 (HV=21GPa)，试验环境为 薄膜材料技术是当前材料领域 的一个热门研究领 大气 ，室温 (20±3)℃，相对湿度 RH=50 ～60 。 域，硬质涂层技术可 以在不改变基体材料的成分，不削 实验前两摩擦副表面均经过丙酮清洗并烘干；实验后 弱基体材料力学性能的基础上 ，大幅度提高材料的耐 用扫描电镜 (SEM—Quanta200)及三维形貌仪 (Nano 热、耐蚀、抗氧化、耐磨损及导电性能等，同时基体保持 Map—DualMode3DProfilometer)分析磨痕形貌 ，并用 原来 良好 的机械性能 。]。虽然像 CrN、TiN等过渡金 EDX射线能谱来分析磨痕的化学成分。 属氮化物涂层具有高硬度、高熔点和高的化学稳定性， 3 结果与讨论 但是这些二元系薄膜有其性能上的局限性，不能满足更 加苛刻环境下的硬度和耐磨性等要求 。为此 以TiN、 3．1 涂层的纳米硬度及弹性模量 CrN等为基础添加第三元素的三元系薄膜的研究 引起 为了考察基体 因素对表面涂层的影响，分别选取 了广泛的重视_l4-5_l。添加少量 Si形成的纳米复合结构 2种不同的法向压力考察材料 的表面纳米硬度和弹性 薄膜 CrSiN涂层与过渡金属氮化物涂层相比，极大地改 模量 。图1为分别在 3和 100mN两种载荷下 ，测得的 善了薄膜 的硬度、强度、耐磨