DU-Ti合金表面N＋Ti＋多层Ti／TiN复合膜的制备与耐蚀性.pdfVIP

， 移 伽 ， 00@0 DU．Ti合金表面N+Ti+多层 Ti／TiN 复合膜的制备与耐蚀性 严东旭 一，刘天伟 ，龙 重 ，白 彬 ，张鹏程 。黄 河 ，郎定木 ，王晓红 ，朱建国 (1．中国工程物理研究院，四川 绵阳 621900；2．表面物理与化学国家重点实验室，四川 绵阳 621907； 3．四川大学材料科学系，四川 成都 610064) [摘 要] 采用单一的表面改性技术难以提高贫铀钛合金 (DU—Ti)的耐蚀性能。采用等离子体浸没离子注入技 术依次在 DU．Ti合金表面注入N和Ti，再利用非平衡脉冲磁控溅射技术制备多层 Ti／TiN，研究了膜层的形貌、结 构及耐蚀性能。结果表明：膜层厚约3 m，呈柱状结构，致密，但存在一些微缺陷，膜基结合紧密；膜层 出现面心立 方结构的TiN和密排六方的Ti，在 DU．Ti合金界面形成了少量的UO，，没有铀的氮化物 ；膜层耐蚀性能较基体得到 较大提高；微观缺陷是TiN层局部片状脱落的主要原因，外层TiN出现片状脱落后，注入层和 内层Ti／TiN多层膜仍 能有效保护基体。 [关键词] 等离子体浸没离子注入 ；非平衡磁控溅射 ；复合膜 ；DU-Ti合金；电化学腐蚀 ；耐蚀性 [中图分类号]TG174．4 [文献标识码]A [文章编号]1001—1560(2010)12—0048—03 0 前 言 耐蚀性能，近年来受到了广泛关注¨ ]，但在极易腐蚀 且质软的铀及铀合金表面制备结合力强的Ti／TiN多层 贫铀钛合金(DU—Ti)具有独特的核性能和较高的 薄膜仍有很大困难。本工作采用等离子体浸没离子注 密度 ，在军工领域应用广泛，但其存在 的杂质和析出物 入技术在 DU．Ti合金表面依次注入N和 Ti，再利用非 往往会加速材料 自身的腐蚀，在表面产生大量的蚀坑 平衡 中频磁控溅射技术制备多层 Ti／TiN，并对复合膜 和裂纹，导致其耐蚀性能和力学性能下降。DU．Ti合 的形貌、结构及耐蚀性能进行了研究。 金的腐蚀产物大多含有玛U和船U，会造成环境的放射 污染，给其贮存和使用带来困难。 l 试 验 表面改性是提高铀及其合金耐蚀性能的有效方法 1．1 复合膜的制备 之一，目前有电镀、离子注入、涂覆有机层、CO处理、物 理气相沉积等 ¨ ，其改性层的致密性、完整性、膜基 基材为贫铀钛合金，尺寸为 西15mm ×3mm，经 结合力等还不理想，限制 了耐蚀性能的提高。为了进 500，700，1000号砂纸打磨后机械抛光，再用酒精超声 一 步提高DU．Ti合金的耐蚀性能，应降低薄膜的孔隙 清洗 ，风干后送入真空室。 率，减少通孔数量 ；同时应设计合理的膜基过渡层和膜 采用PIII．IBAD全方位离子注入及辅助沉积设备 层结构，减少膜层 内应力，提高膜基结合力。为此，需 在DU．Ti合金表面制备复合膜：先依次注人N和Ti，负 要结合各种改性技术的优点，探索新的表面处理工艺。 高压一50kV，频率600Hz，脉宽40 s，注入剂量分别 多层 Ti／TiN薄膜具有 良好的力学性能、摩擦性能、 为 1．4×10”离子／cm和9．1×10离-~／cm ，注氮时表 面氮化气体为99．999％高纯氮气，注钛时磁过滤金属 [收稿 日期] 2010—07—08 真空弧源阴极材料为99．95％高纯钛 ；然后用非平衡脉 [