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轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响 - 材料研究学报
第29 卷 第10 期 材 料 研 究 学 报 Vol. 29 No. 10
2 0 1 5 年 1 0 月 CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH October 2 0 1 5
轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu 纳米复合膜
性能的影响*
1 2 2 1
宋贵宏 肖金泉 杜 昊 陈立佳
1. 沈阳工业大学材料科学与工程学院 沈阳 110870
2. 中国科学院金属研究所材料表面工程研究部 沈阳 110016
摘要在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场, 制备了TiN-Cu 纳米复合膜。观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速
率和弧柱形状的影响, 及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响。结果表明, 提高线圈磁场
强度可提高电弧斑点的游动速率, 进而降低靶表面金属液滴喷射几率, 减小沉积薄膜中大颗粒的尺寸和数量。X 射线衍射
(XRD)谱显示, 沉积薄膜只含有TiN 相, 未出现金属Cu 或其化合物的衍射峰; 薄膜呈现明显的(111) 晶面择优取向。随着线圈
磁场强度的提高薄膜沉积速率、压痕硬度和弹性模量先增加, 达到最大值后又略有减少, 其最大硬度和弹性模量分别达到
35.46 GPa 和487.61 GPa 。
关键词 复合材料, TiN-Cu 纳米复合膜, 硬度, 电弧离子镀, 磁场强度, 大颗粒, 沉积速率
分类号 TB383 文章编号 1005-3093(2015) 10-0787-07
Influence of Axisymmetric Magnetic Field on Properties of
TiN-Cu Nanocomposite Films Prepared by Arc Ion Plating
SONG Guihong1** XIAO Jinquan2 DU Hao2 CHEN Lijia1
1. School of Material Science and Technology, Shenyang University of Technology, Shenyang 110870, China
2. Division of surface engineering of materials, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences,
Shenyang 110016, China
*Supported by National Natural Science Foundation of China No.and Cooperative Foundation between
Industry, Colleges or Scientific Institutes and Relevant Issues from Guangdong Province No.2013A090100003.
Manuscript received October 17, 2014; in revised form November 30, 2014.
**To whom correspondence s
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