SiO2介孔薄膜材料的隔热理论.pdfVIP

李凌智 等 ：SiOz介孔薄膜材料 的隔热理论 SiO2介孔薄膜材料的隔热理论 李凌智 ，张 敏 ，张 瑾，柳清菊 (云南大学 云南省高校纳米材料与技术重点实验室，云南 昆明650091) 摘 要： Si0 介孔薄膜具有优 良的绝热性能，在热 热载子的边界散射被认为是引起热导率尺寸效应 学、光学、微 电子等领域有广阔的应用前景，其介孔结 的主要因素 ，在 SiO 薄膜 中，当薄膜厚度远大于声子 构对降低薄膜的热导率有着十分重要的作用，对介孔 平均 自由程时，声子将 以声子间的散射和缺陷的散射 薄膜热导率的计算模型及测量方法的研究仍在不断探 为主；当薄膜厚度减小或者温度降低，使得薄膜厚度与 索中。对 Si02介孔膜的隔热机理进行 了概述，从理论 声子平均 自由程相 当或小于平均 自由程，这时声子 的 方面综述了对热导率研究的一些基本方法，并对薄膜 平均 自由程将受薄膜厚度的限制 ，声子 的边界散射将 热传导的尺寸效应作 了说 明。 会成为限制薄膜热导率的主要 因素。SiO。介孔薄膜 关键词： SiO 介孔薄膜 ；隔热；微尺度传热；热导率 具有极高的孔隙率和 比表面积 ，其 中存在大量 的边界 中图分类号： 0643：0644 文献标识码 ：A 和表面，大大增加了边界散射的概率 ，极大地阻碍声子 文章编号 ：1001—9731(2010)06—0927-04 对热的传导，导致了SiO 介孔薄膜极低的热导率。 1 引 言 3 薄膜材料热导率的基本理论 SiO 介孑L薄膜具有热导率低 、折射率低 、介 电常 3．1 热导率预测的基本理论 数低 、声传播速度小等优异的性质 ，在热学、光学、电 在工程应用 中，热传导现象 由Fourier定律描述 ， 学、声学等领域有重要 的应用价值 ，其极低 的热导率 ， 即均匀连续介质 内各点的热流密度与温度梯度成正 作为绝热薄膜在微 电子机械系统的应用上取得了巨大 比： 的成功 。 一 一 丁 (1) 热量传递有 3种基本方式 ：热传导、热对流及热辐 其 中g为热流密度 ，T为绝对温度 ，为热导率 。 射 。介孔绝热材料 由固相和气相组成，其热传递主要 Fourier定律是建立在材料为连续介质假设基础 有固体的热传导、气体的热传导、气体的热对流和热辐 上的，未考虑热载子运动，忽略了介质 的微结构及尺 射 2【]。固体有着比气体大得多的热导率，而介孔绝热 度 ，只在宏观及高温 区域成立 ]。由于在研究瞬态过 材料有很高的孔隙率 ，材料中的固体成分极少 ，极大地 程中，热导率不再与温度梯度成正比，需要考虑热载流 降低 了固体的热传导。另一方面，常温下空气分子的 子的弛豫时间r，因此通常 的Fourier定律不再适用 ， 平均 自由程 约为 70nm，而介 孑L绝热材料 的孔径 于是发展了广义的Fourier定律 ]： 50nm，孔内的气体分子接近于无流动状态 ，限制 了气 一 体的热传导和热对流。对于热辐射，若在薄膜制备过 一 一 丁一 rd (2) 程中加入适当的红外遮蔽剂 ，则可减少热辐射传递的 3．1．1 微观尺度范围内热导率的预测 热量。综上所述，SiO 介孑L薄膜材料可有效抑制热量 认识薄膜 中微尺度范围内的传热规律 ，需要从微 的传递。