Ti2AINb合金表面射频溅射AI／AI203复合层的抗热震性能.pdfVIP

2O14 Ti2AINb合金表面射频溅射 AI／AI203复合层的抗热震性能 刘 文，梁文萍，缪 强，任蓓蕾，潘晓扬 (南京航空航天大学材料科学与技术学院，江苏 南京 211100) [摘 要] 为进一步提高TiA1Nb合金的抗高温氧化 能，在其表面射频溅射 Al0复合层，并于650℃下进行了 抗热震性能研究，采用扫描 电镜及能谱仪观察复合层形貌并分析其成分。结果表明：Al／／，O复合层平整致密，无贯 穿裂纹，复合层 中A1O层厚约 1Ixm，AI层厚约14Ixm；热震循环50次时复合层表面出现了微小裂纹，随着热震循环 次数增加，裂纹不断扩展，表层 2O颗粒增大；Al／Al2O。复合层能有效提高Ti2A1Nb合金的抗热震性能。 [关键词] TiAINb合金；射频溅射；Al／AlO复合层；形貌；成分；抗热震性能 [中图分类号]TG174．444 [文献标识码]A [文章编号]1001—1560(2014)1l一0012—03 O 前 言 25Nb(原子分数，％)，线切割成 15mmX15mm ×4 Ti，A1Nb合金比强度及比刚度高，断裂韧性高、抗 mm，用400，500，600，800，1000号 SiC金相砂纸逐级打 氧化性好、热膨胀系数低，在新一代航空航天发动机中 磨 ，并机械抛光至镜面，之后用丙酮和酒精清洗、吹干 。 有着 良好的应用前景，但其高温抗氧化性和耐磨性不 1．2 射频溅射Al／／Alo 复合层 足。目前，改善和提高TiAINb合金性能的主要方法是 用 JGP．420高真空多功能磁控溅射仪对 Ti，A1Nb 添加合金元素如 Cr ]，或在其表面预制 防护涂 合金表面镀膜 ：将炉体 内抽真空至0．05Pa，氩气气压 层 ]。在多种防护涂层 中，AI／AI0，复合涂层既具有 一 直保持在0．5Pa；先制备纯Al层，再制备A10陶瓷 优 良的耐蚀性、耐磨性，又具有硬度高、脆性小等特 涂层，工艺参数见表 1；溅射靶材采用纯铝板 (纯度 点 ]。采用射频磁控溅射法在合金表面制备 的 99．99％)，尺寸为 ~bl00mmx3mm，先预溅射 20min Al／，Al，0复合涂层具有 良好的结合强度、硬度及耐腐蚀 以清除其表面杂质。 和耐磨损性 ¨ “。目前，关于射频溅射Al／Al。0复合 表 1 射频溅射工艺参数 涂层高温性能的研究鲜见报道。 Q(Ar)／ Q(02)／ E(工 ，(工 E(射 P(射 d(极间)／￡(工 (溅 本工作采用射频溅射法在 Ti，A1Nb合金表面制备 砼 瞳 休 (L．min一)(L．min一)作)／v作)／A频)／v频)／w nlm 作)／h射)／oc 了Al／／Al：O。复合层，旨在结合 Al／，AlO3复合涂层和 Al 0．03 0 900 0．14 30 l30 35 3．0 40 Ti，A1Nb合金的优点，并研究了其热震性能。 AI203 0．05 0．005 1000 O．20 50 230 35 2．5 40 1 试 验 1．3 热震条件 1．1 基材前处理 将TiA1Nb合金及 Al／／AlO3复合层试样放人马弗 基材为TiA1NbO相合金，名义成分为Ti．22A1． 炉 中加热 ，于650oC下保温 10min后迅速淬人冷水 ，冷 [收稿 日期] 2014——05——28 却至室温