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制备硅薄膜太阳能电池的先进技术与实验研究／曹瑜彬等 ·137 · 制备硅薄膜太阳能电池的先进技术与实验研究 曹瑜彬 ，邓赞红 ，董伟伟L，陶汝华 ，方晓东1,2 (1 中科院安徽光机所，合肥 230031；2 中国科学院新型薄膜太阳电池重点实验室，合肥230031) 摘要 介绍了si薄膜太阳能电池的材料与结构，重点介绍了几种叠层薄膜太阳能电池，详细阐述 了近年发展 的用于制备低成本、高效率si薄膜太阳能电池的技术与最新的实验研究成果，其 中高温沉积法、低温沉积法、层转移 法尤为重要 ，展望了si薄膜太阳能电池未来的技术发展和科研方向。三叠层薄膜太阳能电池是有发展前景的产品 之一，更多叠层的薄膜太阳能电池与量子点叠层薄膜太阳能电池将长期作为实验研究的热门课题。 关键 词 si薄膜太阳能电池 效率 叠层电池 陶瓷基片 外延层转移法 AdvancedTechnologiesinProductionandExperimentalStudyon FabricatingSiliconThin Film SolarCells 、 CAO Yubin ，DENG Zanhong ，DONG W eiwei ，TAO Ruhua ，FANG Xiaodong，。 (1 AnhuiInstituteofOpticsandFineM echanics，ChineseAcademyofSciences，Hefei230031；2 KeyLabofNew TypeThinfilm SolarCells，ChineseAcademyofSciences，Hefei230031) Abstract StructuresofSithinfilm solarcellsaswellasmethodstoimprovetheirefficienciesareintroduced． Severalkindsoftandem solarcellsareintroducedasmajorpoints．Besides，advancedtechnologiesinproductionand experimentalstudy，withthepurposetofabricatehighefficientandlow costSithinfilm solarcells，aredescribedin detail，includinghightemperatureprocess，low temperatureprocess，layertransferprocess，etc．Thefutureworkof improvingtechnologiesandgoingonresearchispredictedattheendoftheessay．Double-junctiontandem siliconsolar cellsmightbeavailableinfuturemarket，multi—junctionandquantum dottandem siliconsolarcellswillattractthein— terestofa1argeamountofresearchersina1ongterm． Keywords Sithinfilm solarcells，efficiency，tandem cells，ceramicsubstrates，layertransferprocess 见有非晶硅 (a—S．)．，多晶硅 (poly-Si)，微 晶硅 (／,c—Si)。然而， 0 引言 由单种材料制成的 a-Si、poly-Si、 c—Si薄膜 电池效率都不 作为利用清洁能源最重要的代表之一 ，太阳能电池无论 高 。a—si薄膜电池在较长时间光照下还会 出现光致衰减 ，导 在技术还是市场上都具有广