原子层热电堆热（光）电探测器的原理及研究现状.pdfVIP

原子层热电堆热(光)电探测器的原理及研究现状／王 勇等 ·33 · 原子层热 电堆热 (光)电探测器的原理及研究现状 王 勇 ，虞 澜 。，陈思功。，晏国文 。，张鹏翔 。 (1 昆明理工大学材料科学与工程学院，昆明 650093；2 昆明理工大学光电子新材料研究所，昆明 650051； 3 昆明理工大学废弃物资源化国家工程研究中心，昆明650093) 摘要 概述 了基于晶体的各向异性Seebeck效应的原子层热电堆热 (光)电探测器的基本原理和优点，并从材 料体系的选择和器件的主要应用等方面阐述了该类型探测器的国内外研究现状，预测了原子层热电堆探测器在新材 料、材料维度和新热源探索等的发展方向。 关键词 各向异性Seebeck效应 原子层热电堆 热电探测器 光电探测器 PrincipleandResearch StatueofAtomicLayerThermopile ThermoelectricorPh0t0electricDetectors WANG Yong ，YU Lan ，CHEN Sigong。，YAN Guowen ，ZHANG Pengxiang (1 FacultyofMaterialScienceandEngineering，KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming65O093；2 Instituteof AdvancedMaterialsforPhotoelectrons，KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming650051；3 NationalEngineering ResearchCentreofWasteResourceRecovery，KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kmmaing650093) Abstract Thebasicprincipleandexcellentpropertiesoftheatomiclayerthermopilethermoelectricorphotoe— lectricdetectoraredescribedbasedontheanisotropicSeebeckeffectofcrysta1．Thedomesticandabroadresearchsta- tuefrom theaspectsofmaterialselectionanddevicemainapplicationsissummarize Atlastthedevelopmentorienta— tionsofatomiclayerthermopiledetectorsarepredicted．suchasresearchonnewmaterial。dimensionofmaterialand new thermal-source Keywords anisotropicSeebeckeffect，atomiclayerthemr opile，themr oelectricdetector，photoelectricdetector 0 引言 1 物理机制 C．L．Chang等 于 1990 年 首 次在 外 延 生 长 的 薄膜的表面吸收热辐射后，立即在薄膜内建立起一个温 YBaCu。O一薄膜中观察到激光感生电压信号_】]。随后 H． 度梯度场。由于晶体的Seebeck效应，将会产生一个热电场： S．Kwok等研究发现这种光辐射外延生长的YBaCu。O一 E — S ·VT (1) 薄膜所感生的电压信号与晶体的各向异性有关，且信号幅值 式中：S是晶体的Seebeck张量，VT为温度梯度场 。 与薄膜倾斜角度密切相关[2]。1992年德国Regensburg大学