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FIB的工作原理及其应用.pdf
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FIB的工作原理及其应用
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(电子元器件可靠性物理及应用技术国家级重点实验室广东广州510610)
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摘 要 介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理，分析了影响离子束显微镜影像的因素。详细介i
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