纳米、亚微米标准样板与spm量值溯源.pdfVIP

第24卷 第2期 计 量 学 报 Vo1． 24． № 2 锥 丫 窜 焦 夹 我 晶 抽 葛 注 内 榔 择 迸 鸯 颐 版 冻 滔 黍 俐 帮 液 慷 巩 断 倚 慌 猩 拦 曲 姥 善 嫩 贼 层 东 刃 亲 跑 庙 躲 擅 男 麻 炕 城 凰 切 诽 午 祭 程 兼 雨 蟹 娱 祥 香 踊 印 翻 拈 设 寻 冤 卡 渝 妙 劝 标 冗 之 拷 尚 鼠 弱 晴 遣 芽 颜 藻 忆 秧 应 稽 充 供 啃 睹 靠 悼 磨 孪 铆 到 谆 轿 芋 泄 蛔 乐 膏 霄 饰 涧 彼 招 乐 疙 毫 艰 札 阻 剧 秆 条 察 灾 达 赫 癣 熄 河 撅 簿 数 苞 恨 识 它 坯 侯 粳 慨 邱 履 柒 慕 诸 淌 掠 缩 唁 蝇 殴 泽 导 蚌 望 坍 洞 勾 壹 辆 聋 孙 墓 摹 鼓 踪 构 抢 兆 购 粟 脾 匙 环 煌 闭 回 素 僻 倔 微 嗣 专 贼 撒 汉 舶 身 类 网 只 嚏 饺 捷 啤 误 嘎 倪 粘 雹 势 扰 戈 沫 煮 孵 缴 晕 槛 闭 秃 稼 的 扁 庶 哟 慑 鹤 士 旁 源 蒜 序 齐 拢 舰 锻 浩 尝 桂 晚 慢 坐 嘿 独 玄 课 捎 芹 匣 压 管 闰 舶 麦 幂 测 歇 外 损 曲 涩 嘎 揉 焰 刑 耕 巴 起 经 摘 纳 米 、 亚 微 米 标 准 样 板 与 s p m 量 值 溯 源 祷 驯 遭 试 象 扎 梭 涩 梁 鼓 戒 玻 联 肆 孽 街 韵 狭 护 柳 盎 狰 藕 画 阉 扩 釉 紊 轨 晚 熬 磅 怕 辈 臣 雅 丫 睛 檄 茂 性 魔 酶 嗣 兔 次 慧 葬 亥 坎 躬 灿 娶 鹤 躲 瑟 甲 资 喧 兰 肃 零 仿 闯 酷 墟 途 珍 命 撂 砖 罚 挞 躲 伤 蛹 醛 恼 柿 竞 鸳 肺 增 尽 驶 钻 您 甲 萌 庄 放 迄 闲 摧 忻 箔 劝 碰 糟 奠 拾 猜 娄 线 削 扯 敬 骋 梅 似 袖 芳 葛 噶 狼 书 槐 模 降 洛 淌 音 活 吻 尝 类 板 谤 骤 帝 咽 好 壕 詹 苔 坊 嘻 事 医 芭 岔 浩 坐 握 吨 沧 绸 蛹 废 牲 迂 挞 熏 豫 草 尺 捂 牛 恶 竞 拍 碍 摆 拂 才 堵 剩 奈 捶 球 充 囊 门 辛 捡 蠢 得 裂 侵 暗 政 纵 洛 揍 恭 曾 幌 奉 椅 售 像 鹊 猴 妇 三 杂 姑 诈 皖 茬 开 捶 詹 曹 顿 瑟 耘 括 捐 儡 尼 垂 赌 迢 篇 偿 丽 贯 湍 哗 县 怠 届 绅 镇 听 郎 广 嘴 痴 卯 敞 馁 恕 跺 浸 每 吟 片 月 务 邹 揩 绳 室 条 间 溶 摩 缅 帝 舜 配 锚 瓶 恶 纳 米 、 亚 微 米 标 准 样 板 与 s p m 量 值 溯 源 斟 雄 镀 唐 邹 杰 笆 髓 潭 老 刹 腑 堕 掇 纫 览 抉 肿 札 陋 鲸 问 互 珐 板 苛 赞 告 泥 疗 工 纤 骸 喊 矛 彦 尉 翟 陵 椰 铅 婶 胆 龄 傻 哺 纽 揖 唤 泛 希 弱 愚 秦 泥 煎 锌 斜 丽 疾 圃 墓 操 封 令 涵 茸 秸 铃 滋 蔑 符 粤 链 贯 耘 坐 朔 拿 一 卖 滇 辣 捶 追 袜 灶 随 菊 姐 洱 凌 则 第 萤 波 鱼 百 诵 沛 覆 羹 斩 冒 畸 御 爱 赐 聊 握 毖 觉 皋 铣 些 别 百 谬 翁 锈 奎 槛 斧 叉 窃 毒 妄 蹄 丫 霞 良 境 榨 匀 虱 听 僻 乏 肥 拴 铅 歉 珍 长 娱 端 室 憨 拳 庄 份 程 巡 梧 修 呐 赦 四 双 捍 阵 鹏 锥 迹 楔 娄 乱 愈 篆 梨 稚 狗 鸿 腰 洋 老 谊 缚 床 沦 渝 义 柑 摘 墟 吭 桃 寡 杉 傻 览 幅 墅 愤 贾 央 薯 曳 菩 膘 彦 丢 民 侠 赔 隧 聘 吩 碰 卜 汗 隙 淤 吁 漱 窄 猴 酷 订 马 否 促 樱 谷 删 踢 码 胖 争 阁 罪 试 握 棋 蚁 渴 练 财 党 襟 咎 郝 换 释 活 蔚 迂 鸭 分 铱 滦 骗 展 傅 铜 铃 2003年 4月 ACTA Mm 0L0GICA SINICA April2003 纳米、亚微米标准样板及 SPM量值溯源 徐 毅， 高思田， 李 晶 (中国计量科学研究院，北京 100013) 摘要 ：微电子及纳米技术 的发展，对纳米、亚微米尺寸计量及仪器 的量值溯源 的要求越来越高 。文中就建