氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜光谱响应改性研究.pdfVIP

第l5卷 第6期 材 料 科 学 与 工 艺 Vo1．15 Nn 6 2 0 0 7年l2月 MA rERIALS SCIENCE rECHNOLOGY Dec．，2007 氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜光谱响应改性研究 余红华 ，熊予莹 ，陈俊芳 ，吴先球 (1．华南师范大学分析测试中心，广东广州510006；2．华南师范大学物理与电信工程学院，广东广州510006) 摘 要：采用氢微波等离子体对纳米TiO 薄膜催化剂进行改性处理来改善其光谱响应范围．AFM观察表明 未经烧结的TiO 薄膜表面形貌发生较大变化，经过500~Clh热处理过的样品表面形貌变化不大，但处理后 样品表面颜色变为淡灰色，并随着气压和功率增大而变深；紫外一可见光谱分析表明，纳米TiO，薄膜催化剂 的光谱响应曲线发生了l2—25nm红移；XPS定量分析证实，改性处理后部分TiO 被还原为低价钛氧化物， 同时在TiO 薄膜的表面产生了氧空位，从而使样品的吸收边红移，可见光吸收增加．通过不同气压、功率、时 间研究显示，在气压／微波功率／时间为16Torr／400W／5min条件下改性效果较理想． 关键词：氢微波等离子；纳米TiO 薄膜；光谱响应；紫外一可见分析；xPs 中图分类号：TB383；TN305．2文献标识码：A 文章编号：1005—0299(2007)06—0885—04 Absorption spectrum modification of nano-TiO2 film by hydrogen microwave plasma’ 0 0 ● 一 YU Hong—hua ’ ，XIONG Yu—ying2， CHEN Jun—fang ，Wu Xian—qiu (1．Center of Analysis and Testing，South China Normal University Guang Zhou 510006，China；2．College of Physics and Telegraphy，South China Normal University，GuangZhou 5 10006，China) Abstract：Hydrogen microwave plasma were used to modify photocatalytic nano—TiO2 films prepared by Sol— gel method for improving their absorption spectrum．They are characterized by AFM．UV—Vis and XPS．1he results show that the structure morphology of films without calcining has great changes while that calcined at 500oC for one hour changes a little，but the color of modifed films turns to ficeHe and goes to deeper with the increasing of air pressure and power．UV—Vis curves indicate that the absorption spectra have 12—25nm shift to the infrared side．XPS quantitative analysis demonstrates that all these changes attribute to deoxidization and oxygen vacancy of nano—TiO2 thin film．With different air pressure，power and time，the feasible conditions are determined at 16Torr／400W／5min． Ke